Магнетрондук чачыратуу менен каптоо жаркыраган разрядда жүргүзүлөт, каптоо камерасында разряд тогунун тыгыздыгы төмөн жана плазманын тыгыздыгы төмөн болот. Бул магнетрондук чачыратуу технологиясынын пленка субстратынын байланыш күчү төмөн, металлдын иондоштуруу ылдамдыгы төмөн жана чөкмө ылдамдыгы төмөн сыяктуу кемчиликтерин жаратат. Магнетрондук чачыратуу менен каптоочу машинага жаа разряддоочу түзүлүш кошулган, ал жаа разрядынан пайда болгон жаа плазмасындагы жогорку тыгыздыктагы электрон агымын колдонуп, жумуш бөлүгүн тазалай алат, ошондой эле каптоого жана кошумча чөкмөлөргө катыша алат.
Магнетрон чачыратуучу каптоочу машинага жаа разряды үчүн кубат булагын кошуңуз, ал кичинекей жаа булагы, тик бурчтуу тегиз жаа булагы же цилиндр формасындагы катод жаа булагы болушу мүмкүн. Катод жаа булагы тарабынан пайда болгон жогорку тыгыздыктагы электрондук агым магнетрон чачыратуучу каптоонун бүтүндөй процессинде төмөнкү ролдорду ойной алат:
1. Иштетүүчү бөлүктү тазалаңыз. Каптоодон мурун, катоддук дого булагын ж.б. күйгүзүңүз, газды дого электрон агымы менен иондоштуруңуз жана иштетүүчү бөлүктү аз энергиялуу жана жогорку тыгыздыктагы аргон иондору менен тазалаңыз.
2. Дого булагы жана магниттик башкаруу буталары бирге капталат. Жаркыроо разряды бар магнетрондук чачыратуу буталары каптоо үчүн иштетилгенде, катоддук дого булагы да иштетилет жана эки каптоо булагы тең бир убакта капталат. Магнетрондук чачыратуу бута материалынын жана дого булагынын бута материалынын курамы ар башка болгондо, бир нече катмар пленка капталышы мүмкүн, ал эми катоддук дого булагы тарабынан чөктүрүлгөн пленка катмары көп катмарлуу пленканын ортосундагы катмар болуп саналат.
3. Катоддук дого булагы каптоого катышканда жогорку тыгыздыктагы электрон агымын камсыз кылат, чачыраган металл пленка катмарынын атомдору жана реакция газдары менен кагылышуу ыктымалдыгын жогорулатат, чөкмө ылдамдыгын, металлдын иондошуу ылдамдыгын жакшыртат жана чөкмөгө көмөктөшүүдө роль ойнойт.
Магнетрондук чачыратуучу каптоочу машинада конфигурацияланган катоддук жаа булагы тазалоочу булагын, каптоо булагын жана иондоштуруу булагын бириктирип, жаа плазмасындагы жаа электрон агымын колдонуу менен магнетрондук чачыратуучу каптоонун сапатын жакшыртууда оң ролду ойнойт.
Жарыяланган убактысы: 2023-жылдын 21-июну