Магнетрон сиптерү каплавы ялтыравыклы разрядта башкарыла, каплау камерасында разряд тогы тыгызлыгы түбән һәм плазма тыгызлыгы түбән була. Бу магнетрон сиптерү технологиясенең пленка субстратының түбән бәйләнеш көче, металл ионизациясе тизлегенең түбән булуы һәм түбән утыру тизлеге кебек кимчелекләрен тудыра. Магнетрон сиптерү каплау машинасында дуга разряд җайланмасы өстәлә, ул дуга разрядында барлыкка килгән дуга плазмасындагы югары тыгызлыктагы электрон агымын эш кисәген чистарту өчен куллана ала, шулай ук каплау һәм ярдәмче утыртуда катнаша ала.
Магнетрон сиптерү каплау машинасына дуга разряды чыганагын өстәгез, ул кечкенә дуга чыганагы, турыпочмаклы яссы дуга чыганагы яки цилиндрик катод дуга чыганагы була ала. Катод дуга чыганагы тарафыннан барлыкка китерелгән югары тыгызлыктагы электрон агымы магнетрон сиптерү каплау процессында түбәндәге рольләрне уйный ала:
1. Эшкәртмәне чистартыгыз. Каплау алдыннан катод дуга чыганагын кабызыгыз һ.б., газны дуга электрон агымы белән ионлаштырыгыз һәм эшкәртмәне түбән энергияле һәм югары тыгызлыклы аргон ионнары белән чистартыгыз.
2. Дуга чыганагы һәм магнит контроле максаты бергә каплана. Ялтыравыклы разрядлы магнетрон сиптерү максаты каплау өчен активлаштырылганда, катод дуга чыганагы да активлаша, һәм ике каплау чыганагы да бер үк вакытта каплана. Магнетрон сиптерү максаты материалының һәм дуга чыганагы максат материалының составы төрле булганда, берничә катлам пленка капланырга мөмкин, һәм катод дуга чыганагы урнаштырган пленка катламы күп катламлы пленкада катламара була.
3. Катод дугасы чыганагы каплауда катнашканда югары тыгызлыктагы электрон агымын тәэмин итә, сиптерелгән металл пленка катламы атомнары һәм реакция газлары белән бәрелү ихтималын арттыра, утыру тизлеген, металл ионлашу тизлеген яхшырта һәм утыруга ярдәм итүдә роль уйный.
Магнетрон сиптерү каплау машинасында конфигурацияләнгән катод дугасы чыганагы чистарту чыганагын, каплау чыганагын һәм ионлаштыру чыганагын берләштерә, дуга плазмасындагы дуга электрон агымын кулланып, магнетрон сиптерү каплавының сыйфатын яхшыртуда уңай роль уйный.
Бастырылган вакыты: 2023 елның 21 июне