Ny fandokoana Magnetron sputtering dia atao amin'ny alalan'ny glow discharge, miaraka amin'ny hakitroky ny courant discharge ambany sy hakitroky ny plasma ambany ao amin'ny efitrano fandokoana. Izany dia mahatonga ny teknolojia magnetron sputtering hanana fatiantoka toy ny herin'ny famatorana substrate sarimihetsika ambany, ny tahan'ny ionisation metaly ambany, ary ny tahan'ny fametrahana ambany. Ao amin'ny milina fandokoana magnetron sputtering, dia ampiana fitaovana famoahana arc, izay afaka mampiasa ny fikorianan'ny elektrôna avo lenta ao amin'ny plasma arc vokarin'ny famoahana arc mba hanadiovana ny workpiece, afaka mandray anjara amin'ny fandokoana sy fametrahana fanampiny ihany koa izy io.
Ampio loharanon-kery famoahana arc ao amin'ny milina fandokoana magnetron sputtering, izay mety ho loharanon-kery arc kely, loharanon-kery planar mahitsizoro, na loharanon-kery cathode cylindrical. Ny fikorianan'ny elektrôna avo lenta ateraky ny loharanon-kery cathode dia afaka mitana anjara toerana manaraka amin'ny dingana manontolo amin'ny fandokoana magnetron sputtering:
1. Diovy ny fitaovana fiasana. Alohan'ny handrakofana azy, alefaso ny loharanon'ny arka katôda, sns., ataovy iônisa ny entona amin'ny alàlan'ny fikorianan'ny elektrôna arka, ary diovy amin'ny iôna argon ambany angovo sy hakitroky avo lenta ny fitaovana fiasana.
2. Rakotra miaraka ny loharanon'ny arc sy ny lasibatra fanaraha-maso andriamby. Rehefa miasa ho an'ny coating ny lasibatra magnetron sputtering misy glow discharge, dia miasa ihany koa ny loharanon'ny arc cathode, ary samy rakotra miaraka ireo loharanon'ny coating roa. Rehefa samy hafa ny firafitry ny fitaovana lasibatra magnetron sputtering sy ny fitaovana lasibatra loharanon'ny arc, dia azo asiana sosona sarimihetsika maromaro, ary ny sosona sarimihetsika napetraky ny loharanon'ny arc cathode dia sosona intersoin ao amin'ny sarimihetsika misy sosona maro.
3. Ny loharanon'ny arka katôda dia manome fikorianan'ny elektrôna avo lenta rehefa mandray anjara amin'ny fandrakofana, mampitombo ny mety hisian'ny fifandonana amin'ny atôma sy ny entona mihetsika ao amin'ny sosona sarimihetsika metaly miparitaka, manatsara ny tahan'ny fametrahana, ny tahan'ny ionization metaly, ary mitana anjara toerana amin'ny fanampiana ny fametrahana.
Ny loharanon'ny arka katôda voarafitra ao amin'ny milina fanosorana magnetron sputtering dia mampiditra loharano fanadiovana, loharanon'ny fanosorana ary loharanon'ny ionization, izay mitana anjara toerana tsara amin'ny fanatsarana ny kalitaon'ny fanosorana magnetron sputtering amin'ny alàlan'ny fampiasana ny fikorianan'ny elektrôna arc ao amin'ny plasma arc.
Fotoana fandefasana: 21 Jona 2023