Магнетронды шашырату жабыны жарқыраған разрядта жүзеге асырылады, жабын камерасында разряд тогының тығыздығы төмен және плазма тығыздығы төмен болады. Бұл магнетронды шашырату технологиясының пленкалық негіздің төмен байланыс күші, металл иондану жылдамдығының төмендігі және тұндыру жылдамдығының төмендігі сияқты кемшіліктерін тудырады. Магнетронды шашырату жабын машинасында доғалық разрядтау құрылғысы қосылады, ол доғалық разряд арқылы пайда болған доғалық плазмадағы жоғары тығыздықтағы электрон ағынын пайдаланып, дайындаманы тазалай алады, сонымен қатар жабынға және қосалқы тұндыру жұмыстарына қатыса алады.
Магнетронды шашырату жабын машинасына доғалы разряд қуат көзін қосыңыз, ол кішкентай доға көзі, тікбұрышты жазық доға көзі немесе цилиндрлік катодты доға көзі болуы мүмкін. Катодты доға көзінен пайда болатын жоғары тығыздықтағы электрон ағыны магнетронды шашырату жабынының бүкіл процесінде келесі рөлдерді атқара алады:
1. Дайындаманы тазалаңыз. Қаптау алдында катод доғасының көзін қосыңыз және т.б., газды доғалық электрон ағынымен иондаңыз және дайындаманы төмен энергиялы және жоғары тығыздықтағы аргон иондарымен тазалаңыз.
2. Доға көзі мен магниттік басқару нысанасы бірге қапталған. Жарқыраған разряды бар магнетронды шашырату нысанасы қаптау үшін белсендірілгенде, катодты доға көзі де белсендіріледі және екі қаптау көзі де бір уақытта қапталады. Магнетронды шашырату нысанасы материалы мен доға көзі нысанасы материалының құрамы әртүрлі болған кезде, бірнеше қабатты пленкамен қаптауға болады, ал катодты доға көзі тұндырған пленка қабаты көп қабатты пленканың аралық қабаты болып табылады.
3. Катод доғасының көзі жабуға қатысқан кезде жоғары тығыздықтағы электрон ағынын қамтамасыз етеді, шашыраған металл пленка қабатының атомдарымен және реакция газдарымен соқтығысу ықтималдығын арттырады, тұндыру жылдамдығын, металл иондану жылдамдығын жақсартады және тұндыруға көмектесуде рөл атқарады.
Магнетронды бүріккіш жабын машинасында конфигурацияланған катодты доға көзі тазалау көзін, жабын көзін және иондану көзін біріктіреді, бұл доға плазмасындағы доғалық электрон ағынын пайдалану арқылы магнетронды бүріккіш жабын сапасын жақсартуда оң рөл атқарады.
Жарияланған уақыты: 2023 жылғы 21 маусым