मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग हे ग्लो डिस्चार्जमध्ये केले जाते, ज्यात कोटिंग चेंबरमध्ये कमी डिस्चार्ज करंट डेन्सिटी आणि कमी प्लाझ्मा डेन्सिटी असते. यामुळे मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग तंत्रज्ञानामध्ये कमी फिल्म सबस्ट्रेट बॉन्डिंग फोर्स, कमी मेटल आयनायझेशन रेट आणि कमी डिपॉझिशन रेट यांसारखे तोटे आहेत. मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग मशीनमध्ये एक आर्क डिस्चार्ज डिव्हाइस जोडलेले असते, जे आर्क डिस्चार्जमुळे निर्माण होणाऱ्या आर्क प्लाझ्मामधील उच्च-घनतेच्या इलेक्ट्रॉन प्रवाहाचा वापर वर्कपीस स्वच्छ करण्यासाठी करू शकते, तसेच ते कोटिंग आणि सहाय्यक डिपॉझिशनमध्ये देखील भाग घेऊ शकते.
मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग मशीनमध्ये एक आर्क डिस्चार्ज ऊर्जा स्रोत जोडा, जो एक लहान आर्क स्रोत, आयताकृती समतल आर्क स्रोत किंवा दंडगोलाकार कॅथोड आर्क स्रोत असू शकतो. कॅथोड आर्क स्रोताद्वारे निर्माण होणारा उच्च-घनतेचा इलेक्ट्रॉन प्रवाह मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंगच्या संपूर्ण प्रक्रियेत खालील भूमिका बजावू शकतो:
१. वर्कपीस स्वच्छ करा. कोटिंग करण्यापूर्वी, कॅथोड आर्क सोर्स इत्यादी चालू करा, आर्क इलेक्ट्रॉन प्रवाहाने वायूचे आयनीकरण करा आणि कमी ऊर्जा व उच्च घनतेच्या आर्गॉन आयनांनी वर्कपीस स्वच्छ करा.
२. आर्क सोर्स आणि मॅग्नेटिक कंट्रोल टार्गेटवर एकत्रितपणे कोटिंग केले जाते. जेव्हा कोटिंगसाठी ग्लो डिस्चार्जसह मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग टार्गेट सक्रिय केले जाते, तेव्हा कॅथोड आर्क सोर्स देखील सक्रिय होतो आणि दोन्ही कोटिंग स्रोतांवर एकाच वेळी कोटिंग केले जाते. जेव्हा मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग टार्गेट मटेरियल आणि आर्क सोर्स टार्गेट मटेरियलची रचना भिन्न असते, तेव्हा फिल्मचे अनेक थर चढवता येतात आणि कॅथोड आर्क सोर्सद्वारे जमा केलेला फिल्मचा थर हा बहु-स्तरीय फिल्ममधील एक इंटरलेयर असतो.
३. कॅथोड आर्क स्रोत कोटिंगमध्ये सहभागी होताना उच्च-घनतेचा इलेक्ट्रॉन प्रवाह प्रदान करतो, ज्यामुळे स्पटर केलेल्या धातूच्या फिल्म थरातील अणू आणि प्रतिक्रिया वायूंसोबत टक्कर होण्याची शक्यता वाढते, परिणामी निक्षेपण दर, धातू आयनीकरण दर सुधारतो आणि निक्षेपणास मदत करण्याची भूमिका बजावतो.
मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग मशीनमध्ये कॉन्फिगर केलेला कॅथोड आर्क सोर्स हा क्लीनिंग सोर्स, कोटिंग सोर्स आणि आयनायझेशन सोर्स यांना एकत्रित करतो, आणि आर्क प्लाझ्मामधील आर्क इलेक्ट्रॉन प्रवाहाचा उपयोग करून मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंगची गुणवत्ता सुधारण्यात सकारात्मक भूमिका बजावतो.
पोस्ट करण्याची वेळ: २१ जून २०२३