मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग ग्लो डिस्चार्ज में की जाती है, जिसमें कोटिंग चैंबर में डिस्चार्ज करंट घनत्व और प्लाज्मा घनत्व कम होता है। इस कारण मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग तकनीक में फिल्म-सब्सट्रेट बॉन्डिंग बल कम होना, धातु आयनीकरण दर कम होना और जमाव दर कम होना जैसी कमियां हैं। मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग मशीन में एक आर्क डिस्चार्ज डिवाइस जोड़ा जाता है, जो आर्क डिस्चार्ज द्वारा उत्पन्न आर्क प्लाज्मा में उच्च घनत्व वाले इलेक्ट्रॉन प्रवाह का उपयोग करके वर्कपीस को साफ करता है और कोटिंग व सहायक जमाव में भी भाग लेता है।
मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग मशीन में एक आर्क डिस्चार्ज पावर सोर्स जोड़ें, जो एक छोटा आर्क सोर्स, एक आयताकार समतल आर्क सोर्स या एक बेलनाकार कैथोड आर्क सोर्स हो सकता है। कैथोड आर्क सोर्स द्वारा उत्पन्न उच्च-घनत्व इलेक्ट्रॉन प्रवाह मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग की पूरी प्रक्रिया में निम्नलिखित भूमिकाएँ निभा सकता है:
1. वर्कपीस को साफ करें। कोटिंग से पहले, कैथोड आर्क स्रोत आदि को चालू करें, आर्क इलेक्ट्रॉन प्रवाह के साथ गैस को आयनित करें, और कम ऊर्जा और उच्च घनत्व वाले आर्गन आयनों से वर्कपीस को साफ करें।
2. आर्क स्रोत और चुंबकीय नियंत्रण लक्ष्य पर एक साथ कोटिंग की जाती है। जब ग्लो डिस्चार्ज वाले मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग लक्ष्य को कोटिंग के लिए सक्रिय किया जाता है, तो कैथोड आर्क स्रोत भी सक्रिय हो जाता है, और दोनों कोटिंग स्रोतों पर एक साथ कोटिंग की जाती है। जब मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग लक्ष्य सामग्री और आर्क स्रोत लक्ष्य सामग्री की संरचना भिन्न होती है, तो फिल्म की कई परतें चढ़ाई जा सकती हैं, और कैथोड आर्क स्रोत द्वारा जमा की गई फिल्म परत बहु-परत फिल्म में एक अंतर्परत होती है।
3. कोटिंग में भाग लेते समय कैथोड आर्क स्रोत उच्च-घनत्व इलेक्ट्रॉन प्रवाह प्रदान करता है, जिससे स्पटर किए गए धातु फिल्म परत के परमाणुओं और प्रतिक्रिया गैसों के साथ टकराव की संभावना बढ़ जाती है, जिससे जमाव दर, धातु आयनीकरण दर में सुधार होता है और जमाव में सहायता करने में भूमिका निभाता है।
मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग मशीन में कॉन्फ़िगर किया गया कैथोड आर्क स्रोत एक सफाई स्रोत, कोटिंग स्रोत और आयनीकरण स्रोत को एकीकृत करता है, जो आर्क प्लाज्मा में आर्क इलेक्ट्रॉन प्रवाह का उपयोग करके मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग की गुणवत्ता में सुधार करने में सकारात्मक भूमिका निभाता है।
पोस्ट करने का समय: 21 जून 2023