Kuimarisha Upako wa Kunyunyizia Magnetron kwa Kutumia Ugavi wa Umeme wa Kutokwa kwa Arc

Mipako ya kunyunyizia magnetron hufanywa katika utoaji wa mwanga, ikiwa na msongamano mdogo wa mkondo wa kutokwa na msongamano mdogo wa plasma katika chumba cha mipako. Hii inafanya teknolojia ya kunyunyizia magnetron kuwa na hasara kama vile nguvu ya chini ya kuunganisha substrate ya filamu, kiwango cha chini cha ioni ya chuma, na kiwango cha chini cha uwekaji. Katika mashine ya mipako ya kunyunyizia magnetron, kifaa cha kutokwa na arc kinaongezwa, ambacho kinaweza kutumia mtiririko wa elektroni wenye msongamano mkubwa katika plasma ya arc inayotokana na utoaji wa arc kusafisha kipini cha kazi, Inaweza pia kushiriki katika uwekaji wa mipako na uwekaji wa msaidizi.

Ongeza chanzo cha umeme cha kutokwa kwa arc kwenye mashine ya kupakia sputtering ya magnetron, ambayo inaweza kuwa chanzo kidogo cha arc, chanzo cha arc ya mstatili, au chanzo cha arc ya cathode ya silinda. Mtiririko wa elektroni wenye msongamano mkubwa unaozalishwa na chanzo cha arc ya cathode unaweza kuchukua majukumu yafuatayo katika mchakato mzima wa mipako ya sputtering ya magnetron:
1. Safisha kipande cha kazi. Kabla ya kupaka rangi, washa chanzo cha arc ya cathode, n.k., tia ioni gesi kwa mtiririko wa elektroni ya arc, na usafishe kipande cha kazi kwa nishati ndogo na ioni za argon zenye msongamano mkubwa.
2. Chanzo cha arc na shabaha ya udhibiti wa sumaku hupakwa pamoja. Wakati shabaha ya kunyunyizia sumaku ya magnetron yenye kutokwa kwa mwanga inapowashwa kwa ajili ya mipako, chanzo cha arc ya cathode pia huamilishwa, na vyanzo vyote viwili vya mipako hupakwa kwa wakati mmoja. Wakati muundo wa nyenzo lengwa ya kunyunyizia sumaku ya magnetron na nyenzo lengwa ya chanzo cha arc ni tofauti, tabaka nyingi za filamu zinaweza kufunikwa, na safu ya filamu iliyowekwa na chanzo cha arc ya cathode ni safu kati ya filamu yenye tabaka nyingi.
3. Chanzo cha arc ya kathodi hutoa mtiririko wa elektroni zenye msongamano mkubwa wakati wa kushiriki katika mipako, na kuongeza uwezekano wa kugongana na atomi za safu ya filamu ya chuma iliyomwagika na gesi za mmenyuko, kuboresha kiwango cha uwekaji, kiwango cha ioni ya chuma, na kuchukua jukumu katika kusaidia uwekaji.

Chanzo cha arc ya kathodi kilichowekwa katika mashine ya mipako ya sputtering ya magnetron huunganisha chanzo cha kusafisha, chanzo cha mipako, na chanzo cha ioni, kikichukua jukumu chanya katika kuboresha ubora wa mipako ya sputtering ya magnetron kwa kutumia mtiririko wa elektroni ya arc katika plasma ya arc.