Magnetronli purkash qoplamasi porlash razryadida, qoplama kamerasida past razryad oqimi zichligi va past plazma zichligi bilan amalga oshiriladi. Bu magnetronli purkash texnologiyasining past plyonka substratiga bog'lanish kuchi, past metall ionlanish tezligi va past cho'kish tezligi kabi kamchiliklarini keltirib chiqaradi. Magnetronli purkash qoplama mashinasida yoy razryadi qurilmasi qo'shilgan bo'lib, u ish qismini tozalash uchun yoy razryadi natijasida hosil bo'lgan yoy plazmasidagi yuqori zichlikdagi elektron oqimidan foydalanishi mumkin, shuningdek, qoplama va yordamchi cho'kishda ham ishtirok etishi mumkin.
Magnetronli purkash qoplama mashinasiga kichik yoy manbai, to'rtburchaklar tekis yoy manbai yoki silindrsimon katod yoy manbai bo'lishi mumkin bo'lgan yoy zaryadsizlanishi quvvat manbaini qo'shing. Katod yoy manbai tomonidan hosil qilingan yuqori zichlikdagi elektron oqimi magnetronli purkash qoplamasining butun jarayonida quyidagi rollarni o'ynashi mumkin:
1. Ish qismini tozalang. Qoplashdan oldin katod yoy manbasini va boshqalarni yoqing, gazni yoy elektron oqimi bilan ionlashtiring va ish qismini past energiya va yuqori zichlikdagi argon ionlari bilan tozalang.
2. Yoy manbai va magnit boshqaruv nishoni birgalikda qoplanadi. Yorqinlik zaryadsizlanishiga ega magnetronli purkash nishoni qoplash uchun faollashtirilganda, katod yoy manbai ham faollashadi va ikkala qoplama manbai bir vaqtning o'zida qoplanadi. Magnetronli purkash nishon materiali va yoy manbai nishon materialining tarkibi har xil bo'lganda, bir nechta qatlamli plyonka qoplanishi mumkin va katod yoy manbai tomonidan qo'yilgan plyonka qatlami ko'p qatlamli plyonkada oraliq qatlam hisoblanadi.
3. Katod yoy manbai qoplamada ishtirok etganda yuqori zichlikdagi elektron oqimini ta'minlaydi, purkalgan metall plyonka qatlami atomlari va reaksiya gazlari bilan to'qnashuv ehtimolini oshiradi, cho'kish tezligini, metall ionlanish tezligini yaxshilaydi va cho'kishga yordam berishda rol o'ynaydi.
Magnetronli purkash qoplama mashinasida sozlangan katodli yoy manbai tozalash manbai, qoplama manbai va ionlanish manbasini birlashtiradi, bu yoy plazmasidagi yoy elektron oqimidan foydalanish orqali magnetronli purkash qoplamasining sifatini yaxshilashda ijobiy rol o'ynaydi.
Nashr vaqti: 2023-yil 21-iyun