ஆர்க் டிஸ்சார்ஜ் பவர் சப்ளை மூலம் மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் கோட்டிங்கை மேம்படுத்துதல்

காந்த அலை சிதறல் பூச்சு, ஒளிர்வு வெளியேற்றத்தில் மேற்கொள்ளப்படுகிறது. இதில் பூச்சு அறையில் குறைந்த வெளியேற்ற மின்னோட்ட அடர்த்தியும் குறைந்த பிளாஸ்மா அடர்த்தியும் உள்ளன. இதனால், காந்த அலை சிதறல் தொழில்நுட்பத்தில் குறைந்த படல-அடி மூலக்கூறு பிணைப்பு விசை, குறைந்த உலோக அயனியாக்க விகிதம் மற்றும் குறைந்த படிவு விகிதம் போன்ற குறைபாடுகள் ஏற்படுகின்றன. காந்த அலை சிதறல் பூச்சு இயந்திரத்தில் ஒரு வில் வெளியேற்ற சாதனம் சேர்க்கப்பட்டுள்ளது. இது, வில் வெளியேற்றத்தால் உருவாக்கப்படும் வில் பிளாஸ்மாவில் உள்ள உயர்-அடர்த்தி எலக்ட்ரான் ஓட்டத்தைப் பயன்படுத்தி வேலைப் பொருளைச் சுத்தம் செய்ய முடியும். மேலும் இது பூச்சு மற்றும் துணைப் படிவுப் பணிகளிலும் பங்கேற்கிறது.

மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் கோட்டிங் இயந்திரத்தில் ஒரு வில் வெளியேற்ற ஆற்றல் மூலத்தைச் சேர்க்கவும்; அது ஒரு சிறிய வில் மூலம், ஒரு செவ்வகத் தள வில் மூலம், அல்லது ஒரு உருளை வடிவ எதிர்மின்வாய் வில் மூலமாக இருக்கலாம். எதிர்மின்வாய் வில் மூலத்தால் உருவாக்கப்படும் உயர் அடர்த்தி எலக்ட்ரான் ஓட்டமானது, மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் கோட்டிங் செயல்முறை முழுவதிலும் பின்வரும் பங்குகளை ஆற்றும்:
1. வேலைப் பொருளைச் சுத்தம் செய்யவும். பூச்சுப் பூசுவதற்கு முன், கேத்தோடு வில் மூலத்தை இயக்கி, வில் எலக்ட்ரான் ஓட்டத்தைக் கொண்டு வாயுவை அயனியாக்கி, குறைந்த ஆற்றல் மற்றும் அதிக அடர்த்தி கொண்ட ஆர்கான் அயனிகளைக் கொண்டு வேலைப் பொருளைச் சுத்தம் செய்யவும்.
2. வில் மூலமும் காந்தக் கட்டுப்பாட்டு இலக்கும் ஒன்றாகப் பூசப்படுகின்றன. ஒளிர்வு வெளியேற்றத்துடன் கூடிய மேக்னட்ரான் சிதறல் இலக்கு பூசுவதற்காகச் செயல்படுத்தப்படும்போது, ​​எதிர்மின் வில் மூலமும் செயல்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் இரண்டு பூச்சு மூலங்களும் ஒரே நேரத்தில் பூசப்படுகின்றன. மேக்னட்ரான் சிதறல் இலக்குப் பொருளின் கலவையும் வில் மூல இலக்குப் பொருளின் கலவையும் வேறுபட்டிருக்கும்போது, ​​பல அடுக்கு படலங்களைப் பூச முடியும், மேலும் எதிர்மின் வில் மூலத்தால் படியவைக்கப்பட்ட படல அடுக்கு, அந்தப் பல அடுக்கு படலத்தில் ஒரு இடை அடுக்காக அமைகிறது.
3. பூச்சுப் பணியில் ஈடுபடும்போது கேத்தோடு வில் மூலமானது உயர் அடர்த்தி எலக்ட்ரான் ஓட்டத்தை வழங்குகிறது. இது, சிதறடிக்கப்பட்ட உலோகப் படல அடுக்கின் அணுக்கள் மற்றும் வினை வாயுக்களுடன் மோதுவதற்கான நிகழ்தகவை அதிகரித்து, படிதல் வீதம் மற்றும் உலோக அயனியாக்க வீதத்தை மேம்படுத்துவதோடு, படிதலுக்கு உதவுவதிலும் ஒரு பங்கை வகிக்கிறது.

மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் கோட்டிங் இயந்திரத்தில் கட்டமைக்கப்பட்டுள்ள கேத்தோடு ஆர்க் மூலமானது, ஒரு சுத்திகரிப்பு மூலம், பூச்சு மூலம் மற்றும் அயனியாக்க மூலம் ஆகியவற்றை ஒருங்கிணைத்து, ஆர்க் பிளாஸ்மாவில் உள்ள ஆர்க் எலக்ட்ரான் ஓட்டத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம் மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் கோட்டிங்கின் தரத்தை மேம்படுத்துவதில் ஒரு சாதகமான பங்கை வகிக்கிறது.