Magnetron tüýdük örtügi ýalpyldawuk akymda, pes çykaryş tok dykyzlygy we örtük kamerasynda pes plazma dykyzlygy bilen amala aşyrylýar. Bu, magnitron tüýdük tehnologiýasynyň pes film substrat baglanyşyk güýji, pes metal ionlaşma derejesi we pes depozit derejesi ýaly kemçiliklerine eýe bolýar. Magnitron tüýdük örtük maşynynda, iş böleklerini arassalamak üçin ýaýyň çykmagy netijesinde dörän ýaý plazmasyndaky ýokary dykyzlykly elektron akymyny ulanyp bilýän ýaý çykaryjy enjam goşulýar, örtük we kömekçi çökgünlige hem gatnaşyp biler.
Kiçijik ýaý çeşmesi, gönüburçly planar ýaý çeşmesi ýa-da silindr görnüşli katod ark çeşmesi bolup bilýän magnitron tüýdük örtük maşynyna ýaýyň güýji çeşmesini goşuň. Katod ark çeşmesinden emele gelen ýokary dykyzlykly elektron akymy, magnitronyň dökülýän örtüginiň tutuş prosesinde aşakdaky rollary oýnap biler:
1. Iş bölegini arassalaň. Örtümezden ozal, katodyň çeşmesini açyň we ş.m., gazy elektron akymy bilen ionlaşdyryň we iş bölegini pes energiýa we ýokary dykyzlykly argon ionlary bilen arassalaň.
2. Ark çeşmesi we magnit dolandyryş nyşany bilelikde örtülendir. Owingalpyldawuk akymly magnitron tüýdük nyşany örtük üçin işjeňleşdirilende, katod ark çeşmesi hem işjeňleşdirilýär we iki örtük çeşmesi bir wagtda örtülýär. Magnitronyň dökülýän maksat materialynyň we ýaý çeşmesiniň maksatly materialynyň düzümi başgaça bolanda, birnäçe gatlak gatlak örtülip bilner we katod ark çeşmesi tarapyndan goýlan film gatlagy köp gatlakly filmde birleşýär.
3.
Magnitron tüýdük örtük maşynynda düzülen katod ark çeşmesi arassalaýyş çeşmesini, örtük çeşmesini we ionlaşdyrma çeşmesini birleşdirip, ark plazmasyndaky ýaý elektron akymyny ulanyp, magnitron tüýdük örtüginiň hilini ýokarlandyrmakda oňyn rol oýnaýar.
Iş wagty: Iýun-21-2023