คุณลักษณะทางเทคนิคของการเคลือบด้วยการระเหยในสุญญากาศ

1. เดอะการเคลือบด้วยการระเหยในสุญญากาศกระบวนการนี้รวมถึงการระเหยของวัสดุฟิล์ม การเคลื่อนย้ายอะตอมไอในสุญญากาศสูง และกระบวนการก่อตัวและการเติบโตของอะตอมไอบนพื้นผิวของชิ้นงาน

2. ระดับสุญญากาศในการตกตะกอนของสารเคลือบด้วยการระเหยในสุญญากาศนั้นสูง โดยทั่วไปอยู่ที่ 10-510^-3ระยะทางอิสระของโมเลกุลก๊าซมีขนาดประมาณ 1-10 เมตร ซึ่งมากกว่าระยะทางจากแหล่งกำเนิดการระเหยไปยังชิ้นงานมาก ระยะทางนี้เรียกว่าระยะการระเหย โดยทั่วไปอยู่ที่ 300-800 มิลลิเมตร อนุภาคเคลือบแทบจะไม่สามารถชนกับโมเลกุลก๊าซและอะตอมของไอระเหยและไปถึงชิ้นงานได้

3. ชั้นเคลือบด้วยการระเหยในสุญญากาศไม่ใช่การชุบแบบพันรอบ และอะตอมของไอจะพุ่งตรงไปยังชิ้นงานภายใต้สุญญากาศสูง เฉพาะด้านที่หันเข้าหาแหล่งกำเนิดไอระเหยบนชิ้นงานเท่านั้นที่จะได้รับชั้นฟิล์ม ส่วนด้านข้างและด้านหลังของชิ้นงานแทบจะไม่ได้รับชั้นฟิล์ม และชั้นฟิล์มที่ได้จะมีคุณภาพการชุบที่ไม่ดี

4. พลังงานของอนุภาคในชั้นเคลือบด้วยการระเหยในสุญญากาศนั้นต่ำ และพลังงานที่ส่งไปถึงชิ้นงานคือพลังงานความร้อนที่เกิดจากการระเหย เนื่องจากชิ้นงานไม่ได้รับแรงดันไบแอสในระหว่างการเคลือบด้วยการระเหยในสุญญากาศ อะตอมของโลหะจึงอาศัยเพียงความร้อนจากการระเหยเท่านั้น อุณหภูมิการระเหยอยู่ที่ 1000~2000 °C และพลังงานที่ส่งผ่านมีค่าเท่ากับ 0.1~0.2 eV ดังนั้นพลังงานของอนุภาคฟิล์มจึงต่ำ แรงยึดเหนี่ยวระหว่างชั้นฟิล์มกับเนื้อวัสดุจึงมีน้อย และทำให้เกิดการเคลือบแบบผสมได้ยาก

5. ชั้นเคลือบแบบระเหยในสุญญากาศมีโครงสร้างละเอียด กระบวนการเคลือบแบบระเหยในสุญญากาศเกิดขึ้นภายใต้สุญญากาศสูง และอนุภาคฟิล์มในไอระเหยมีขนาดระดับอะตอมเป็นหลัก ก่อตัวเป็นแกนละเอียดบนพื้นผิวของชิ้นงาน