የቫክዩም ትነት ሽፋን ቴክኒካዊ ባህሪያት

1. ዘየቫኩም ትነት ሽፋንሂደቱ የፊልም ቁሳቁሶችን ትነት፣ የእንፋሎት አቶሞችን በከፍተኛ ክፍተት ውስጥ ማጓጓዝ እና በስራ ቦታው ወለል ላይ የእንፋሎት አቶሞች የኒውክሊየሽን እና የእድገት ሂደትን ያካትታል።

2. የቫክዩም ትነት ሽፋን የማስቀመጫ ቫክዩም ደረጃ ከፍተኛ ነው፣ በአጠቃላይ ከ10-510^-3ፓ. የጋዝ ሞለኪውሎች ነፃ መንገድ ከ1-10 ሜትር የመጠን ቅደም ተከተል ነው፣ ይህም ከትነት ምንጭ እስከ ሥራው ክፍል ካለው ርቀት በጣም የሚበልጥ ነው። ይህ ርቀት የትነት ርቀት ይባላል፣ በአጠቃላይ 300-800 ሚሜ። የሽፋን ቅንጣቶች ከጋዝ ሞለኪውሎች እና ከእንፋሎት አቶሞች ጋር አይጋጩም እና ወደ ሥራው ክፍል አይደርሱም።

3. የቫክዩም ትነት ሽፋን ንብርብር የቁስል ሽፋን አይደለም፣ እና የእንፋሎት አቶሞች በቀጥታ ወደ ስራ ቦታው የሚሄዱት በከፍተኛ ቫክዩም ስር ነው። በስራ ቦታው ላይ ያለውን የትነት ምንጭ የሚያይ ጎን ብቻ የፊልም ንብርብር ማግኘት ይችላል፣ እና የስራ ቦታው ጎን እና ጀርባ የፊልም ንብርብር ማግኘት አይችሉም፣ እና የፊልም ንብርብር ደካማ ሽፋን አለው።

4. የቫክዩም ትነት ሽፋን ንብርብር ቅንጣቶች ጉልበት ዝቅተኛ ሲሆን ወደ ሥራ ክፍሉ የሚደርሰው ኃይል በትነት የሚሸከመው የሙቀት ኃይል ነው። የሥራው ክፍል በቫክዩም ትነት ሽፋን ወቅት አድልዎ ስለማያደርግ፣ የብረት አቶሞች በትነት ወቅት በእንፋሎት ሙቀት ላይ ብቻ የተመሰረቱ ናቸው፣ የትነት ሙቀት ከ1000~2000 °C ሲሆን የተሸከመው ኃይል ደግሞ ከ0.1~0.2eV ጋር እኩል ነው፣ ስለዚህ የፊልም ቅንጣቶች ኃይል ዝቅተኛ ነው፣ በፊልም ንብርብር እና በማትሪክስ መካከል ያለው የመተሳሰሪያ ኃይል ትንሽ ነው፣ እና የተዋሃደ ሽፋን ለመፍጠር አስቸጋሪ ነው።

5. የቫክዩም ትነት ሽፋን ንብርብር ጥሩ መዋቅር አለው። የቫክዩም ትነት ፕላቲንግ ሂደት የሚፈጠረው በከፍተኛ ቫክዩም ስር ሲሆን በእንፋሎት ውስጥ ያሉት የፊልም ቅንጣቶች በመሠረቱ አቶሚክ ሚዛን ሲሆኑ በስራ ቦታው ወለል ላይ ቀጭን ኮር ይፈጥራሉ።