1. Онпӯшиши бухоршавии вакуумӣИн раванд бухоршавии маводҳои плёнкавӣ, интиқоли атомҳои буғ дар вакууми баланд ва раванди ядрошавӣ ва афзоиши атомҳои буғ дар сатҳи коркардро дар бар мегирад.
2. Дараҷаи вакуумии ҷойгиршавӣ дар пӯшиши бухоршавии вакуумӣ баланд аст, одатан 10-510-3Па. Масири озоди молекулаҳои газ аз 1 то 10 м аст, ки аз масофа аз манбаи бухоршавӣ то қисми корӣ хеле зиёдтар аст, ин масофа масофаи бухоршавӣ номида мешавад, ки одатан 300 то 800 мм аст. Зарраҳои рӯйпӯш бо молекулаҳои газ ва атомҳои буғ базӯр бархӯрда, ба қисми корӣ мерасанд.
3. Қабати пӯшиши бухоршавии вакуумӣ бо пӯшиши печ пӯшида нашудааст ва атомҳои буғ мустақиман дар зери вакууми баланд ба қисмати корӣ мераванд. Танҳо тарафе, ки ба манбаи бухоршавӣ нигаронида шудааст, метавонад қабати плёнкаро ба даст орад ва паҳлӯ ва қафои қисмати корӣ базӯр қабати плёнкаро ба даст оварда метавонанд ва қабати плёнка пӯшиши бад дорад.
4. Энергияи зарраҳои қабати пӯшиши бухоршавии вакуумӣ паст аст ва энергияе, ки ба қисмати корӣ мерасад, энергияи гармии интиқолшавандаи бухоршавӣ аст. Азбаски қисмати корӣ ҳангоми пӯшиши бухоршавии вакуумӣ бетараф нест, атомҳои металлӣ танҳо ба гармии бухоршавӣ ҳангоми бухоршавӣ такя мекунанд, ҳарорати бухоршавӣ 1000 ~ 2000 °C аст ва энергияи интиқолшаванда ба 0.1 ~ 0.2 эВ баробар аст, аз ин рӯ энергияи зарраҳои плёнка паст аст, қувваи пайванд байни қабати плёнка ва матритса хурд аст ва ташкили пӯшиши мураккаб душвор аст.
5. Қабати рӯйпӯши бухоршавии вакуумӣ сохтори нозук дорад. Раванди рӯйпӯши бухоршавии вакуумӣ дар зери вакууми баланд ташаккул меёбад ва зарраҳои плёнка дар буғ асосан миқёси атомӣ буда, дар сатҳи қисмати корӣ ядрои нозукро ташкил медиҳанд.
Вақти нашр: 14 июни соли 2023