1. ໄດ້ການເຄືອບການລະເຫີຍສູນຍາກາດຂະບວນການປະກອບມີການ evaporation ຂອງອຸປະກອນຮູບເງົາ, ການຂົນສົ່ງປະລໍາມະນູ vapor ໃນສູນຍາກາດສູງ, ແລະຂະບວນການຂອງ nucleation ແລະການຂະຫຍາຍຕົວຂອງປະລໍາມະນູ vapor ຢູ່ດ້ານຂອງ workpiece ໄດ້.
2. ລະດັບສູນຍາກາດ deposition ຂອງການເຄືອບ vacuum evaporation ແມ່ນສູງ, ໂດຍທົ່ວໄປ 10-510.-3Pa. ເສັ້ນທາງຟຣີຂອງໂມເລກຸນອາຍແກັສແມ່ນ 1 ~ 10m ຄໍາສັ່ງຂອງຂະຫນາດ, ເຊິ່ງຫຼາຍກ່ວາໄລຍະຫ່າງຈາກແຫຼ່ງ evaporation ກັບ workpiece ໄດ້, ໄລຍະນີ້ເອີ້ນວ່າໄລຍະການລະເຫີຍ, ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວ 300 ~ 800mm.ອະນຸພາກການເຄືອບເກືອບຈະ collide ກັບໂມເລກຸນອາຍແກັສແລະປະລໍາມະນູ vapor ແລະສາມາດບັນລຸ workpiece ໄດ້.
3. ຊັ້ນເຄືອບການລະເຫີຍສູນຍາກາດບໍ່ແມ່ນການເຄືອບບາດແຜ, ແລະປະລໍາມະນູ vapor ໄປກົງກັບ workpiece ພາຍໃຕ້ສູນຍາກາດສູງ.ພຽງແຕ່ດ້ານຂ້າງທີ່ປະເຊີນກັບແຫຼ່ງການລະເຫີຍໃນ workpiece ສາມາດໄດ້ຮັບຊັ້ນຮູບເງົາໄດ້, ແລະດ້ານຂ້າງແລະດ້ານຫລັງຂອງ workpiece ເກືອບບໍ່ສາມາດໄດ້ຮັບຊັ້ນຮູບເງົາ, ແລະຊັ້ນຮູບເງົາມີການເຄືອບທີ່ບໍ່ດີ.
4. ພະລັງງານຂອງອະນຸພາກຂອງຊັ້ນເຄືອບ evaporation ສູນຍາກາດແມ່ນຕ່ໍາ, ແລະພະລັງງານທີ່ສາມາດບັນລຸ workpiece ແມ່ນພະລັງງານຄວາມຮ້ອນປະຕິບັດໂດຍການລະເຫີຍໄດ້.ເນື່ອງຈາກຊິ້ນວຽກບໍ່ມີຄວາມລໍາອຽງໃນລະຫວ່າງການເຄືອບການລະເຫີຍສູນຍາກາດ, ປະລໍາມະນູຂອງໂລຫະພຽງແຕ່ອີງໃສ່ຄວາມຮ້ອນຂອງການລະເຫີຍໃນລະຫວ່າງການລະເຫີຍ, ອຸນຫະພູມການລະເຫີຍແມ່ນ 1000 ~ 2000 ° C, ແລະພະລັງງານທີ່ປະຕິບັດແມ່ນເທົ່າກັບ 0.1 ~ 0.2eV, ດັ່ງນັ້ນພະລັງງານຂອງ ອະນຸພາກຟິມແມ່ນຕໍ່າ, ແຮງຜູກມັດລະຫວ່າງຊັ້ນຟິມແລະມາຕຣິກເບື້ອງມີຂະຫນາດນ້ອຍ, ແລະມັນຍາກທີ່ຈະປະກອບເປັນສານເຄືອບ.
5. ຊັ້ນເຄືອບ evaporation ສູນຍາກາດມີໂຄງສ້າງອັນດີງາມ.ຂະບວນການດູດຊຶມສູນຍາກາດແມ່ນສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນພາຍໃຕ້ສູນຍາກາດສູງ, ແລະອະນຸພາກຮູບເງົາໃນ vapor ແມ່ນພື້ນຖານຂອງຂະຫນາດປະລໍາມະນູ, ກອບເປັນຈໍານວນອັນດີງາມຢູ່ດ້ານຂອງ workpiece ໄດ້.
ເວລາປະກາດ: 14-06-2023