1. Thevakumlu buharlaştırma kaplamaBu süreç, film malzemelerinin buharlaşmasını, yüksek vakumda buhar atomlarının taşınmasını ve iş parçasının yüzeyinde buhar atomlarının çekirdeklenmesi ve büyüme sürecini içerir.
2. Vakumlu buharlaştırma kaplamasının vakum seviyesi yüksektir, genellikle 10-510 arasındadır.-3Gaz moleküllerinin serbest yolu 1~10 m mertebesindedir; bu, buharlaşma kaynağından iş parçasına olan mesafeden (bu mesafeye buharlaşma mesafesi denir ve genellikle 300~800 mm'dir) çok daha büyüktür. Kaplama parçacıkları gaz molekülleri ve buhar atomlarıyla neredeyse hiç çarpışmaz ve iş parçasına ulaşır.
3. Vakumlu buharlaştırma kaplama tabakası, sargılı kaplama değildir ve buhar atomları yüksek vakum altında doğrudan iş parçasına gider. Film tabakası yalnızca iş parçasının buharlaştırma kaynağına bakan tarafında elde edilebilir; iş parçasının yan ve arka taraflarında film tabakası elde etmek zordur ve film tabakasının kaplama kalitesi düşüktür.
4. Vakumlu buharlaştırma kaplama tabakasının parçacıklarının enerjisi düşüktür ve iş parçasına ulaşan enerji, buharlaşma ile taşınan ısı enerjisidir. Vakumlu buharlaştırma kaplama sırasında iş parçasına herhangi bir ön gerilim uygulanmadığından, metal atomları yalnızca buharlaşma sırasındaki buharlaşma ısısına bağlıdır, buharlaşma sıcaklığı 1000~2000 °C'dir ve taşınan enerji 0,1~0,2 eV'ye eşdeğerdir, bu nedenle film parçacıklarının enerjisi düşüktür, film tabakası ile matris arasındaki bağ kuvveti küçüktür ve bileşik kaplama oluşturmak zordur.
5. Vakumlu buharlaştırma kaplama tabakası ince bir yapıya sahiptir. Vakumlu buharlaştırma kaplama işlemi yüksek vakum altında gerçekleştirilir ve buhardaki film parçacıkları temel olarak atomik ölçektedir, bu da iş parçasının yüzeyinde ince bir çekirdek oluşturur.
Yayın tarihi: 14 Haz-2023