1. Theвакуум парга әйләндерү каплавыпроцесс пленка материалларының парга әйләнүен, югары вакуумда пар атомнарын ташуны, шулай ук эшләнгән кисәк өслегендә пар атомнары барлыкка килү һәм үсү процессын үз эченә ала.
2. Вакуум парга әйләндерү каплавының вакуум дәрәҗәсе югары, гадәттә 10-510-3Па. Газ молекулаларының ирекле юлы 1 ~ 10 м зурлыкта, бу парга әйләнү чыганагыннан эш кисәгенә кадәрге арадан күпкә зуррак, бу ара парга әйләнү арасы дип атала, гадәттә 300 ~ 800 мм. Каплау кисәкчәләре газ молекулалары һәм пар атомнары белән бәрелми диярлек һәм эш кисәгенә барып җитә.
3. Вакуум парга әйләндерү каплавы катламы уралып капланмый, һәм пар атомнары югары вакуум астында турыдан-туры эш кисәгенә бара. Пленка катламын эш кисәгендәге парга әйләндерү чыганагына караган ягы гына ала, ә эш кисәгенең ян һәм арткы өлеше пленка катламын бик авыр кабул итә, һәм пленка катламы начар капланган.
4. Вакуум парландыру каплау катламы кисәкчәләренең энергиясе түбән, ә эш әйберенә барып җиткән энергия - парландыру белән ташылган җылылык энергиясе. Вакуум парландыру каплау вакытында эш әйбере бер якка борылмаганлыктан, металл атомнары парландыру вакытында парландыру җылылыгына гына таяна, парландыру температурасы 1000 ~ 2000 °C, ә ташылган энергия 0,1 ~ 0,2 эВ га тигез, шуңа күрә пленка кисәкчәләренең энергиясе түбән, пленка катламы белән матрица арасындагы бәйләнеш көче аз, һәм кушылма каплау формалаштыру авыр.
5. Вакуум парландыру каплау катламы нечкә структурага ия. Вакуум парландыру каплау процессы югары вакуум астында формалаша, һәм пардагы пленка кисәкчәләре, нигездә, атом масштабында була, эш кисәге өслегендә нечкә үзәк барлыкка китерә.
Бастырылган вакыты: 2023 елның 14 июне