الخصائص التقنية لطلاء التبخير الفراغي

1. الـطلاء التبخير الفراغيتتضمن العملية تبخر مواد الفيلم، ونقل ذرات البخار في فراغ عالي، وعملية تكوين ونمو ذرات البخار على سطح قطعة العمل.

2. درجة فراغ الترسيب في طلاء التبخير الفراغي عالية، وتتراوح عمومًا بين 10 و510^-3يبلغ المسار الحر لجزيئات الغاز من رتبة 1 إلى 10 أمتار، وهو أكبر بكثير من المسافة بين مصدر التبخر وقطعة العمل، وتُسمى هذه المسافة بمسافة التبخر، وتتراوح عادةً بين 300 و800 مليمتر. لا تكاد جزيئات الطلاء تصطدم بجزيئات الغاز أو ذرات البخار لتصل إلى قطعة العمل.

3. لا يتم طلاء طبقة التبخير الفراغي بشكل ملتف، بل تتجه ذرات البخار مباشرةً إلى قطعة العمل تحت فراغ عالٍ. لا تتشكل طبقة رقيقة إلا على الجانب المواجه لمصدر التبخير على قطعة العمل، بينما يصعب تشكيلها على الجوانب والخلف، وتكون طبقة الطلاء رديئة.

4. طاقة جزيئات طبقة الطلاء بالتبخير الفراغي منخفضة، والطاقة التي تصل إلى قطعة العمل هي الطاقة الحرارية الناتجة عن التبخر. ولأن قطعة العمل لا تتعرض لأي تحيز أثناء عملية الطلاء بالتبخير الفراغي، فإن ذرات المعدن تعتمد فقط على حرارة التبخر. تتراوح درجة حرارة التبخر بين 1000 و2000 درجة مئوية، والطاقة المنقولة تعادل 0.1 إلى 0.2 إلكترون فولت. لذا، فإن طاقة جزيئات الفيلم منخفضة، وقوة الترابط بين طبقة الفيلم والمادة الأساسية ضعيفة، مما يصعب معه تكوين طبقة طلاء مركبة.

5. تتميز طبقة الطلاء بالتبخير الفراغي ببنية دقيقة. تتشكل عملية الطلاء بالتبخير الفراغي تحت فراغ عالٍ، وتكون جزيئات الفيلم في البخار ذات حجم ذري تقريبًا، مما يشكل نواة دقيقة على سطح قطعة العمل.