1. Theвакуумдық булану жабыныПроцесс пленка материалдарының булануын, бу атомдарының жоғары вакуумда тасымалдануын және бу атомдарының дайындама бетінде ядролану және өсу процесін қамтиды.
2. Вакуумдық булану жабынының тұндыру вакуумдық дәрежесі жоғары, әдетте 10-510-3Па. Газ молекулаларының еркін жүру жолы 1-10 м шамасындағы өлшемді құрайды, бұл булану көзінен дайындамаға дейінгі қашықтықтан әлдеқайда үлкен, бұл қашықтық булану қашықтығы деп аталады, әдетте 300-800 мм. Қаптама бөлшектері газ молекулаларымен және бу атомдарымен әрең соқтығысады және дайындамаға жетеді.
3. Вакуумдық булану жабыны қабаты орамамен қапталмаған, ал бу атомдары жоғары вакуум астында тікелей дайындамаға барады. Тек дайындаманың булану көзіне қараған жағы ғана пленка қабатын ала алады, ал дайындаманың бүйірі мен артқы жағы пленка қабатын әрең ала алады, ал пленка қабаты нашар қапталған.
4. Вакуумдық булану жабыны қабатының бөлшектерінің энергиясы төмен, ал дайындамаға жететін энергия булану арқылы тасымалданатын жылу энергиясы болып табылады. Вакуумдық булану жабыны кезінде дайындама біркелкі болмайтындықтан, металл атомдары булану кезінде тек булану жылуына ғана тәуелді, булану температурасы 1000 ~ 2000 °C, ал тасымалданатын энергия 0,1 ~ 0,2 эВ-қа тең, сондықтан пленка бөлшектерінің энергиясы төмен, пленка қабаты мен матрица арасындағы байланыс күші аз және қосылыс жабынын қалыптастыру қиын.
5. Вакуумдық булану жабыны қабаты жұқа құрылымға ие. Вакуумдық булану жабыны процесі жоғары вакуум жағдайында қалыптасады, ал будағы пленка бөлшектері негізінен атомдық масштабта болады, дайындаманың бетінде жұқа өзек түзеді.
Жарияланған уақыты: 2023 жылғы 14 маусым