1. Themipako ya uvukizi wa utupuMchakato huu unajumuisha uvukizi wa nyenzo za filamu, usafirishaji wa atomi za mvuke katika utupu mwingi, na mchakato wa uundaji wa kiini na ukuaji wa atomi za mvuke kwenye uso wa kipande cha kazi.
2. Kiwango cha utupu wa utupu wa mipako ya uvukizi wa utupu ni cha juu, kwa ujumla 10-510-3Pa. Njia huru ya molekuli za gesi ni mpangilio wa ukubwa wa mita 1 hadi 10, ambao ni mkubwa zaidi kuliko umbali kutoka chanzo cha uvukizi hadi kwenye kipini cha kazi, umbali huu unaitwa umbali wa uvukizi, kwa ujumla ni 300 hadi 800mm. Chembe za mipako hazigongani na molekuli za gesi na atomi za mvuke na kufikia kipini cha kazi.
3. Safu ya mipako ya uvukizi wa utupu si ya kuwekea vifuniko, na atomi za mvuke huenda moja kwa moja kwenye kipini cha kazi chini ya utupu mwingi. Ni upande unaoelekea chanzo cha uvukizi kwenye kipini cha kazi pekee unaoweza kupata safu ya filamu, na upande na nyuma ya kipini cha kazi haziwezi kupata safu ya filamu, na safu ya filamu ina upako duni.
4. Nishati ya chembe za safu ya mipako ya uvukizi wa utupu ni ndogo, na nishati inayofikia sehemu ya kazi ni nishati ya joto inayobebwa na uvukizi. Kwa kuwa sehemu ya kazi haina upendeleo wakati wa mipako ya uvukizi wa utupu, atomi za chuma hutegemea tu joto la uvukizi wakati wa uvukizi, halijoto ya uvukizi ni 1000~2000 °C, na nishati inayobebwa ni sawa na 0.1~0.2eV, kwa hivyo nishati ya chembe za filamu ni ndogo, nguvu ya kuunganisha kati ya safu ya filamu na matrix ni ndogo, na ni vigumu kuunda mipako yenye mchanganyiko.
5. Safu ya mipako ya uvukizi wa utupu ina muundo mzuri. Mchakato wa upako wa uvukizi wa utupu huundwa chini ya utupu mwingi, na chembe za filamu kwenye mvuke kimsingi ni kipimo cha atomiki, na kutengeneza kiini kidogo kwenye uso wa kipande cha kazi.
Muda wa chapisho: Juni-14-2023