1. Thelephaka mouoane barbotageTs'ebetso ena e kenyelletsa ho fetoha ha mouoane ha thepa ea filimi, ho tsamaisoa ha liathomo tsa mouoane ka har'a vacuum e phahameng, le ts'ebetso ea nucleation le kholo ea liathomo tsa mouoane holim'a karolo ea mosebetsi.
2. Tekanyo ea ho kenngoa ha lephaka la lephaka la lephaka e phahame, ka kakaretso ke 10-510-3Pa. Tsela e lokolohileng ea limolek'hule tsa khase ke 1 ~ 10m ea boholo, e leng sebaka se seholo haholo ho feta sebaka se tlohang mohloling oa mouoane ho ea ho workpiece, sebaka sena se bitsoa sebaka sa mouoane, ka kakaretso ke 300 ~ 800mm. Likaroloana tse koahetsoeng ha li kopane le limolek'hule tsa khase le liathomo tsa mouoane 'me li fihla workpiece.
3. Lera la ho koahela mouoane oa vacuum ha se lehare la ho betla, 'me liathomo tsa mouoane li ea ka ho toba ho sets'oants'o sa mosebetsi tlas'a vacuum e phahameng. Ke lehlakore feela le shebaneng le mohloli oa mouoane holim'a sets'oants'o sa mosebetsi le ka fumanang lera la filimi, 'me lehlakore le ka morao la sets'oants'o sa mosebetsi li ke ke tsa fumana lera la filimi, 'me lera la filimi le na le lera le fokolang.
4. Matla a likaroloana tsa lera la sekoahelo sa mouoane oa vacuum a tlase, 'me matla a fihlang ho sesebelisoa sa mosebetsi ke matla a mocheso a tsamaisoang ke mouoane. Kaha sesebelisoa sa mosebetsi ha se leeme nakong ea sekoahelo sa mouoane oa vacuum, liathomo tsa tšepe li itšetleha feela ka mocheso oa mouoane nakong ea mouoane, mocheso oa mouoane ke 1000 ~ 2000 °C, 'me matla a tsamaisoang a lekana le 0.1 ~ 0.2eV, kahoo matla a likaroloana tsa filimi a tlase, matla a ho kopanya pakeng tsa lera la filimi le matrix a manyane, 'me ho thata ho theha sekoahelo se kopaneng.
5. Lera la ho roala mouoane oa vacuum le na le sebopeho se setle. Mokhoa oa ho roala mouoane oa vacuum o etsoa tlas'a vacuum e phahameng, 'me likaroloana tsa filimi mouoaneng ha e le hantle ke tekanyo ea athomo, li etsa karolo e ntle ea motheo holim'a karolo ea mosebetsi.
Nako ea poso: Phuptjane-14-2023