Cov yam ntxwv ntawm kev nqus tsev evaporation txheej

1. Lubtxheej txheej nqus tsev vacuumcov txheej txheem suav nrog kev ua kom cov khoom siv zaj duab xis qhuav, kev thauj mus los ntawm cov pa roj hauv qhov chaw nqus tsev siab, thiab cov txheej txheem ntawm nucleation thiab kev loj hlob ntawm cov pa roj rau ntawm qhov chaw ua haujlwm.

2. Qhov chaw nqus tsev ntawm cov txheej txheem nqus tsev yog siab, feem ntau yog 10-510^-3Pa. Txoj kev dawb ntawm cov roj molecule yog 1 ~ 10m kev txiav txim ntawm qhov loj, uas yog ntau dua li qhov deb ntawm qhov chaw evaporation mus rau qhov workpiece, qhov deb no hu ua qhov deb evaporation, feem ntau 300 ~ 800mm. Cov khoom txheej tsis tshua sib tsoo nrog cov roj molecule thiab cov pa atoms thiab ncav cuag qhov workpiece.

3. Cov txheej txheej nqus tsev tsis yog qhov txhab plating, thiab cov pa dej mus ncaj qha rau cov khoom ua haujlwm hauv qab lub tshuab nqus tsev siab. Tsuas yog sab uas ntsib qhov chaw evaporation ntawm cov khoom ua haujlwm thiaj li tau txais cov txheej zaj duab xis, thiab sab thiab nraub qaum ntawm cov khoom ua haujlwm tsis tshua tau txais cov txheej zaj duab xis, thiab cov txheej zaj duab xis muaj plating tsis zoo.

4. Lub zog ntawm cov khoom me me ntawm cov txheej txheej nqus tsev vacuum evaporation yog qis, thiab lub zog uas ncav cuag cov khoom ua haujlwm yog lub zog cua sov uas nqa los ntawm kev evaporation. Vim tias cov khoom ua haujlwm tsis muaj kev cuam tshuam thaum lub sijhawm nqus tsev evaporation txheej, cov hlau atoms tsuas yog vam khom lub cua sov ntawm kev vaporization thaum lub sijhawm evaporation, qhov kub ntawm kev evaporation yog 1000 ~ 2000 ° C, thiab lub zog nqa yog sib npaug rau 0.1 ~ 0.2 eV, yog li lub zog ntawm cov khoom me me zaj duab xis yog qis, lub zog sib txuas ntawm cov txheej zaj duab xis thiab lub matrix yog me me, thiab nws nyuaj rau tsim cov txheej sib xyaw.

5. Cov txheej txheej nqus tsev vacuum evaporation muaj cov qauv zoo. Cov txheej txheem nqus tsev evaporation plating yog tsim nyob rau hauv lub tshuab nqus tsev siab, thiab cov zaj duab xis me me hauv cov pa yog qhov atomic scale, tsim ib lub hauv paus zoo rau ntawm qhov chaw ntawm cov khoom ua haujlwm.