1. Τοεπίστρωση εξάτμισης υπό κενόΗ διαδικασία περιλαμβάνει την εξάτμιση υλικών μεμβράνης, τη μεταφορά ατόμων ατμού σε υψηλό κενό και τη διαδικασία πυρήνωσης και ανάπτυξης ατόμων ατμού στην επιφάνεια του τεμαχίου εργασίας.
2. Ο βαθμός κενού εναπόθεσης της επίστρωσης εξάτμισης κενού είναι υψηλός, γενικά 10-510-3Pa. Η ελεύθερη διαδρομή των μορίων αερίου είναι 1~10m τάξης μεγέθους, η οποία είναι πολύ μεγαλύτερη από την απόσταση από την πηγή εξάτμισης στο τεμάχιο εργασίας, αυτή η απόσταση ονομάζεται απόσταση εξάτμισης, γενικά 300~800mm.Τα σωματίδια της επικάλυψης δύσκολα συγκρούονται με μόρια αερίου και άτομα ατμού και φτάνουν στο τεμάχιο εργασίας.
3. Το στρώμα επίστρωσης εξάτμισης κενού δεν είναι τυλιγμένο και τα άτομα ατμού πηγαίνουν κατευθείαν στο τεμάχιο εργασίας υπό υψηλό κενό.Μόνο η πλευρά που βλέπει την πηγή εξάτμισης στο τεμάχιο εργασίας μπορεί να αποκτήσει το στρώμα μεμβράνης και η πλευρά και το πίσω μέρος του τεμαχίου εργασίας δύσκολα μπορούν να πάρουν το στρώμα μεμβράνης και το στρώμα μεμβράνης έχει κακή επένδυση.
4. Η ενέργεια των σωματιδίων του στρώματος επικάλυψης με εξάτμιση κενού είναι χαμηλή και η ενέργεια που φτάνει στο τεμάχιο εργασίας είναι η θερμική ενέργεια που μεταφέρεται από την εξάτμιση.Δεδομένου ότι το τεμάχιο εργασίας δεν πολώνεται κατά την επίστρωση εξάτμισης υπό κενό, τα άτομα μετάλλου βασίζονται μόνο στη θερμότητα της εξάτμισης κατά την εξάτμιση, η θερμοκρασία εξάτμισης είναι 1000~2000 °C και η μεταφερόμενη ενέργεια είναι ισοδύναμη με 0,1~0,2eV, οπότε η ενέργεια του τα σωματίδια του φιλμ είναι χαμηλά, η δύναμη σύνδεσης μεταξύ του στρώματος του φιλμ και της μήτρας είναι μικρή και είναι δύσκολο να σχηματιστεί μια σύνθετη επικάλυψη.
5. Το στρώμα επικάλυψης με εξάτμιση κενού έχει λεπτή δομή.Η διαδικασία επιμετάλλωσης με εξάτμιση κενού σχηματίζεται υπό υψηλό κενό και τα σωματίδια του φιλμ στον ατμό είναι βασικά ατομικής κλίμακας, σχηματίζοντας έναν λεπτό πυρήνα στην επιφάνεια του τεμαχίου εργασίας.
Ώρα δημοσίευσης: Ιουν-14-2023