Ба таври васеъ гӯем, CVD-ро тақрибан ба ду намуд тақсим кардан мумкин аст: яке дар як маҳсулот дар қабати буғи қабати эпитаксиалии яккристалл, ки ба таври танг CVD аст; дигараш дар руи замин гузоштани плёнкахои тунук, аз чумла плёнкахои сермахсул ва аморфй. Мувофиқи намудҳои гуногуни газҳои манбаъҳои истифодашуда, CVD-ро метавон ба усули интиқоли галоген ва таҳшини буғи химиявии металлӣ-органикӣ (MOCVD), якум ба галоген ҳамчун манбаи газ, дуюмӣ ба пайвастагиҳои металлӣ-органикӣ ҳамчун манбаи газ тақсим кард. Мувофиқи фишор дар камераи реаксия, онро ба се намуди асосӣ тақсим кардан мумкин аст: фишори атмосфера CVD (APCVD), CVD фишори паст (LPCVD) ва CVD ултра-баланд вакуумӣ (UHV/CVD). CVD инчунин метавонад ҳамчун усули ёрирасони энергетикӣ истифода шавад ва дар айни замон усулҳои маъмулии равшаншуда ва CVDs-ро дар бар мегиранд. CVD (PCVD) ва ғайра. CVD аслан як усули таҳшинсозии марҳилаи газ мебошад.
CVD аслан як усули ташаккули филм аст, ки дар он як моддаи фазавии газ дар ҳарорати баланд ба реаксияи кимиёвӣ барои тавлиди як моддаи сахт, ки дар субстрат ҷойгир карда мешавад, мебошад. Махсусан, галоидҳои металлҳои идоранашаванда ё пайвастагиҳои органикии металлӣ бо гази интиқолдиҳанда ба монанди H, Ar ё N омехта карда мешаванд ва сипас дар камераи реаксия яксон ба субстрати ҳарорати баланд интиқол дода мешаванд, то тавассути реаксияи химиявӣ дар субстрат як филми тунук ба вуҷуд оянд. Новобаста аз он ки кадом намуди CVD, таҳшинкунӣ бомуваффақият анҷом дода мешавад, бояд ба шартҳои асосии зерин ҷавобгӯ бошад: Аввалан, дар ҳарорати таҳшиншавӣ реактивҳо бояд фишори баланди буғ дошта бошанд; Дуюм, маҳсулоти реаксия, ба ғайр аз кони дилхоҳ барои ҳолати сахт, боқимондаи ҳолати газ; Сеюм, худи кон бояд фишори буғ ба қадри кофӣ паст бошад, то раванди реаксияи таҳшин дар тамоми раванди субстрати тафсон нигоҳ дошта шавад; Чорум, маводи субстрат яксон ба камераи реаксия дар субстрат тавассути реаксияи кимиёвӣ интиқол дода мешавад, то як филми тунукро ташкил кунад. Чорум, фишори буғи худи маводи субстрат низ бояд дар ҳарорати таҳшин ба қадри кофӣ паст бошад.
- Ин мақола нашр шудааст byистеҳсолкунандаи мошини молидани чангкашакГуандун Чжэнхуа
Вақти интишор: май-04-2024