Филаменти вольфрам то ҳарорати баланд гарм карда мешавад, ки электронҳои гармро барои паҳн кардани ҷараёни электронии зичии баланд мебарорад ва дар айни замон электроди тезкунанда гузошта мешавад, ки электронҳои гармро ба ҷараёни электронии энергияи баланд суръат бахшад. Зичии баланд, ҷараёни электронии энергияи баланд метавонад ionization бештар хлор, атомҳои қабати филми металлӣ ionized барои ба даст овардани ions хлориди бештар барои беҳтар кардани суръати sputtering, ба ин васила баланд бардоштани суръати таҳшин: метавонад бештар ionization металлӣ барои беҳтар намудани суръати ionization металлӣ, мусоид ба реаксияи таҳшиншавии филми мураккаб; ионҳои қабати плёнкаи металлӣ барои расидан ба қисмҳои корӣ барои беҳтар кардани зичии ҷории порчаи корӣ ва ба ин васила суръати таҳшинро зиёд мекунанд.
Дар қабати сахти пошидани магнетрон, Афзоиши зичии ҷорӣ ва ташкили филми порчаи кор дар пеш ва пушти катодизатсияи гарм. TiSiCN пеш аз илова кардани катоди гарм, зичии чараён дар порчаи кор хамагй 0,2 мА/мм, баъд аз афзудани катоди гарм ба 4,9 мА/мм2, ки ба афзоиши 24 баробар ва ё бештар аз он баробар аст ва ташкили плёнка зичтар аст. Мумкин аст, ки дар технологияи печонидани магнетронӣ илова кардани катоди гарм барои беҳтар кардани суръати пошидани магнетрон ва фаъолияти зарраҳои плёнка хеле самаранок аст. Ин технология метавонад мӯҳлати хизмати турбинаҳо, поршенҳои насоси лой ва қисмҳои суфтакунандаро хеле беҳтар созад.
-Ин мақоларо нашр кардаастистеҳсолкунандаи мошини молидани чангкашакГуандун Чжэнхуа
Вақти интишор: октябр-11-2023