CVD தொழில்நுட்பத்தின் வகைகள்

பரவலாகப் பேசினால், CVD ஐ தோராயமாக இரண்டு வகைகளாகப் பிரிக்கலாம்: ஒன்று ஒற்றை-படிக எபிடாக்சியல் அடுக்கின் அடி மூலக்கூறு நீராவி படிவில் உள்ளது, இது குறுகிய CVD ஆகும்; மற்றொன்று பல-தயாரிப்பு மற்றும் உருவமற்ற படலங்கள் உட்பட அடி மூலக்கூறில் மெல்லிய படலங்களின் படிவு. பயன்படுத்தப்படும் பல்வேறு வகையான மூல வாயுக்களின் படி, CVD ஐ ஆலசன் போக்குவரத்து முறை மற்றும் உலோக-கரிம வேதியியல் நீராவி படிவு (MOCVD) எனப் பிரிக்கலாம், முந்தையது வாயு மூலமாக ஹாலைடு செய்ய, பிந்தையது வாயு மூலமாக உலோக-கரிம சேர்மங்களுக்கு. எதிர்வினை அறையில் உள்ள அழுத்தத்தின் படி, அதை மூன்று முக்கிய வகைகளாகப் பிரிக்கலாம்: வளிமண்டல அழுத்தம் CVD (APCVD), குறைந்த அழுத்த CVD (LPCVD) மற்றும் அல்ட்ரா-ஹை வெற்றிட CVD (UHV/CVD). CVD ஐ ஆற்றல்-மேம்படுத்தப்பட்ட துணை முறையாகவும் பயன்படுத்தலாம், மேலும் இப்போதெல்லாம் பொதுவானவற்றில் பிளாஸ்மா-மேம்படுத்தப்பட்ட CVD (PECVD) மற்றும் ஒளி-மேம்படுத்தப்பட்ட CVD (PCVD) போன்றவை அடங்கும். CVD என்பது அடிப்படையில் ஒரு வாயு-கட்ட படிவு முறையாகும்.

CVD என்பது அடிப்படையில் ஒரு படலத்தை உருவாக்கும் முறையாகும், இதில் ஒரு வாயு-கட்டப் பொருள் அதிக வெப்பநிலையில் வேதியியல் ரீதியாக வினைபுரிந்து ஒரு திடப்பொருளை உருவாக்கி ஒரு அடி மூலக்கூறில் படிகிறது. குறிப்பாக, ஆவியாகும் உலோக ஹாலைடுகள் அல்லது உலோக கரிம சேர்மங்கள் H, Ar அல்லது N போன்ற கேரியர் வாயுவுடன் கலக்கப்பட்டு, பின்னர் ஒரு வேதியியல் எதிர்வினை மூலம் அடி மூலக்கூறில் ஒரு மெல்லிய படலத்தை உருவாக்க ஒரு எதிர்வினை அறையில் உள்ள உயர் வெப்பநிலை அடி மூலக்கூறுக்கு சீராக கொண்டு செல்லப்படுகின்றன. எந்த வகையான CVD ஆக இருந்தாலும், படிவு வெற்றிகரமாக மேற்கொள்ளப்படக்கூடிய அடிப்படை நிபந்தனைகளை பூர்த்தி செய்ய வேண்டும்: முதலாவதாக, படிவு வெப்பநிலையில், வினைபடுபொருட்கள் போதுமான அளவு அதிக நீராவி அழுத்தத்தைக் கொண்டிருக்க வேண்டும்; இரண்டாவதாக, எதிர்வினை தயாரிப்பு, திட நிலைக்கு தேவையான வைப்புத்தொகைக்கு கூடுதலாக, மீதமுள்ள வாயு நிலை; மூன்றாவதாக, படிவு எதிர்வினை செயல்முறையை சூடான அடி மூலக்கூறின் முழு செயல்முறையிலும் வைத்திருக்க முடியும் என்பதை உறுதிப்படுத்த, வைப்புத்தொகை போதுமான அளவு குறைந்த நீராவி அழுத்தத்தைக் கொண்டிருக்க வேண்டும்; நான்காவதாக, அடி மூலக்கூறு பொருள் வேதியியல் எதிர்வினை மூலம் அடி மூலக்கூறில் உள்ள எதிர்வினை அறைக்கு சீராக கொண்டு செல்லப்பட்டு ஒரு மெல்லிய படலத்தை உருவாக்குகிறது. நான்காவதாக, அடி மூலக்கூறு பொருளின் நீராவி அழுத்தமும் படிவு வெப்பநிலையில் போதுமான அளவு குறைவாக இருக்க வேண்டும்.

–இந்தக் கட்டுரை வெளியிடப்பட்டது byவெற்றிட பூச்சு இயந்திர உற்பத்தியாளர்குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா