டங்ஸ்டன் இழை அதிக வெப்பநிலைக்கு வெப்பப்படுத்தப்பட்டு, அதிக அடர்த்தி கொண்ட எலக்ட்ரான் நீரோட்டத்தை வெளியிடுவதற்கு சூடான எலக்ட்ரான்களை வெளியிடுகிறது, அதே நேரத்தில் ஒரு முடுக்கிவிடும் மின்முனை சூடான எலக்ட்ரான்களை அதிக ஆற்றல் கொண்ட எலக்ட்ரான் நீரோட்டமாக முடுக்கிவிட அமைக்கப்படுகிறது. அதிக அடர்த்தி கொண்ட, அதிக ஆற்றல் கொண்ட எலக்ட்ரான் ஓட்டம் அதிக குளோரின் அயனியாக்கம், அதிக உலோக படல அடுக்கு அணுக்கள் அயனியாக்கம் செய்யப்பட்டு அதிக குளோரைடு அயனிகளைப் பெறுவதன் மூலம் தெளிப்பு விகிதத்தை மேம்படுத்தலாம், இதன் மூலம் படிவு விகிதத்தை அதிகரிக்கும்: உலோக அயனியாக்க விகிதத்தை மேம்படுத்த அதிக உலோக அயனியாக்கம், கலவை படத்தின் படிவின் எதிர்வினைக்கு உகந்ததாக இருக்கலாம்; உலோகப் படல அடுக்கு அயனிகள் பணிப்பகுதியை அடைய வேலைப் பகுதியின் தற்போதைய அடர்த்தியை மேம்படுத்துகின்றன, இதன் மூலம் படிவு விகிதத்தை அதிகரிக்கும்.
மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் கடின பூச்சுகளில், சூடான கத்தோடைசிங்கின் முன் மற்றும் பின் பணிப்பகுதியின் மின்னோட்ட அடர்த்தி மற்றும் பட அமைப்பை அதிகரிக்கவும். சூடான கேத்தோடைச் சேர்ப்பதற்கு முன் TiSiCN, சூடான கேத்தோடை 4.9mA/mm2 ஆக அதிகரித்த பிறகு, பணிப்பகுதியில் மின்னோட்ட அடர்த்தி 0.2mA/mm மட்டுமே, இது 24 மடங்கு அதிகரிப்புக்கு சமம், மேலும் பட அமைப்பு அதிக அடர்த்தியானது. மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் பூச்சு தொழில்நுட்பத்தில், சூடான கேத்தோடைச் சேர்ப்பது மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் படிவு வீதத்தையும் படத் துகள்களின் செயல்பாட்டையும் மேம்படுத்துவதில் மிகவும் பயனுள்ளதாக இருப்பதைக் காணலாம். இந்த தொழில்நுட்பம் டர்பைன் பிளேடுகள், மண் பம்ப் பிளங்கர்கள் மற்றும் கிரைண்டர் பாகங்களின் ஆயுளை கணிசமாக மேம்படுத்த முடியும்.
–இந்தக் கட்டுரையை வெளியிட்டதுவெற்றிட பூச்சு இயந்திர உற்பத்தியாளர்குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா
இடுகை நேரம்: அக்டோபர்-11-2023

