Volframfilamentet upphettas till en hög temperatur som avger heta elektroner för att avge en elektronström med hög densitet, och samtidigt sätts en accelererande elektrod för att accelerera de heta elektronerna till en elektronström med hög energi. Högdensitets- och högenergielektronflödet kan öka klorjoniseringen och fler metallfilmskiktatomer joniseras för att erhålla fler kloridjoner. Detta förbättrar sputterhastigheten och ökar avsättningshastigheten. Mer metalljonisering kan förbättra metalljoniseringshastigheten, vilket bidrar till reaktionen med avsättningen av den sammansatta filmen. Metallfilmskiktjoner når arbetsstycket för att förbättra arbetsstyckets strömtäthet och ökar avsättningshastigheten.
I den hårda beläggningen vid magnetronsputtring ökar strömtätheten och filmorganisationen på arbetsstyckets fram- och baksida av den varmaktodiserade beläggningen. TiSiCN före tillsats av varm katod är strömtätheten på arbetsstycket endast 0,2 mA/mm2, efter ökningen av den varma katoden till 4,9 mA/mm2, vilket motsvarar en ökning på cirka 24 gånger, och filmorganisationen är tätare. Det kan ses att tillsatsen av varm katod i beläggningstekniken vid magnetronsputtring är mycket effektiv för att förbättra avsättningshastigheten vid magnetronsputtring och filmpartiklarnas aktivitet. Denna teknik kan avsevärt förbättra livslängden på turbinblad, slampumps kolvar och kvarndelar.
–Denna artikel är publicerad avtillverkare av vakuumbeläggningsmaskinerGuangdong Zhenhua
Publiceringstid: 11 oktober 2023