Ha re bua ka mokhoa o pharaletseng, CVD e ka aroloa ka mefuta e 'meli: e' ngoe e le sehlahisoa se le seng holim'a mouoane oa substrate deposition ea single-crystal epitaxial layer, e leng CVD e fokolang; e 'ngoe ke ho behoa ha lifilimi tse tšesaane holim'a substrate, ho kenyelletsa le lifilimi tse ngata tsa lihlahisoa le tsa amorphous. Ho ea ka mefuta e sa tšoaneng ea likhase tsa mohloli o sebelisoang, CVD e ka aroloa ka mokhoa oa ho tsamaisa halogen le tšepe-organic chemical vapor deposition (MOCVD), ea pele ho halide e le mohloli oa khase, ea ho qetela ho metsoako ea tšepe-organic e le mohloli oa khase. Ho latela khatello e ka kamoreng ea karabelo, e ka aroloa ka mefuta e meraro e meholo: khatello ea sepakapaka CVD (APCVD), khatello e tlase ea CVD (LPCVD) le ultra-high vacuum CVD (UHV/CVD).CVD e ka boela ea sebelisoa e le mokhoa o thusang o matlafalitsoeng ke matla, 'me matsatsing ana a tloaelehileng a kenyelletsa plasma le CVDCVDhanced plasma le CVDCVDhanced plasma (PCVD), joalo-joalo CVD ha e le hantle ke mokhoa oa ho beha sebaka sa khase.
CVD ha e le hantle ke mokhoa oa ho etsa filimi oo ntho ea khase e sebetsang ka lik'hemik'hale ka mocheso o phahameng ho hlahisa ntho e tiileng e behiloeng holim'a substrate. Ka ho khetheha, li-halides tsa tšepe tse sa tsitsang kapa metsoako ea tšepe e entsoeng ka tšepe e kopantsoe le khase e tsamaisang lintho tse kang H, Ar, kapa N, ebe e fetisetsoa ka mokhoa o ts'oanang ho ea ho substrate e nang le mocheso o phahameng ka kamoreng ea ho arabela ho etsa filimi e tšesaane holim'a substrate ka lik'hemik'hale. Ho sa tsotellehe hore na ke mofuta ofe oa CVD, deposition e ka etsoang ka katleho e tlameha ho finyella maemo a latelang a motheo: Ntlha ea pele, mocheso oa mocheso, li-reactants li tlameha ho ba le khatello e lekaneng ea mouoane; Ea bobeli, sehlahisoa sa karabelo, ho phaella ho depositi e lakatsehang bakeng sa boemo bo tiileng, ba bang kaofela ba boemo ba gaseous; Ntlha ea boraro, depositi ka boeona e lokela ho ba khatello ea mouoane e tlaase ka ho lekaneng ho etsa bonnete ba hore ts'ebetso ea karabelo ea deposition e ka bolokoa ts'ebetsong eohle ea substrate e futhumetseng; Ea bone, thepa ea substrate e fetisetsoa ka mokhoa o ts'oanang ho ea kamoreng ea karabelo holim'a substrate, ka karabelo ea lik'hemik'hale ho etsa filimi e tšesaane. Ntlha ea bone, khatello ea mouoane ea thepa ea substrate ka boeona e lokela ho ba tlase ka ho lekaneng mocheso oa deposition.
-Sengoloa sena se lokollotsoe bymoetsi oa mochine oa vacuum coatingGuangdong Zhenhua
Nako ea poso: May-04-2024