Опрема углавном користи хемијско наношење паре за припрему оксидног филма, који има карактеристике брзе брзине наношења и високог квалитета филма. Што се тиче структуре опреме, двострука структура врата се користи за побољшање ефикасности стезања, а најновији систем за довод течног гаса је усвојен како би се осигурао стабилан и контролисан проток и ефикасно осигурала стабилност процеса. Филм припремљен опремом има добру баријеру за водену пару и дужи период стабилности у тесту кључања.
Опрема се може применити на нерђајући челик, галванизоване делове хардвера/пластичне делове, стакло, керамику и друге материјале, као што су електронски производи, ЛЕД светлеће перле, медицински прибор и други производи којима је потребна отпорност на оксидацију. SiOx баријерни филм је углавном припремљен да ефикасно блокира водену пару, спречи корозију и оксидацију и побољша век трајања производа.
| Опциони модели | величина унутрашње коморе |
| ZHCVD1200 | φ1200*H1950(мм) |