Волфрамова нит се загрева на високу температуру која емитује вруће електроне и емитује електронски ток високе густине, а истовремено се подешава убрзавајућа електрода која убрзава вруће електроне у електронски ток високе енергије. Проток електрона високе густине и високе енергије може довести до веће јонизације хлора, више јонизованих атома слоја металног филма како би се добило више јона хлорида и побољшала брзина распршивања, чиме се повећава брзина таложења: може доћи до веће јонизације метала како би се побољшала брзина јонизације метала, што погодује реакцији таложења сложеног филма; јони слоја металног филма могу доћи до радног комада како би се побољшала густина струје радног комада, чиме се повећава брзина таложења.
Код магнетронског распршивања тврдог премаза, повећање густине струје и организације филма на предњој и задњој страни радног предмета врућом катодом. Пре додавања вруће катоде TiSiCN, густина струје на радном предмету је само 0,2mA/mm2, након повећања вруће катоде на 4,9mA/mm2, што је еквивалентно повећању од око 24 пута, а организација филма је гушћа. Може се видети да је код технологије магнетронског распршивања, додавање вруће катоде веома ефикасно у побољшању брзине наношења магнетронског распршивања и активности честица филма. Ова технологија може значајно побољшати век трајања лопатица турбина, клипова пумпи за блат и делова брусилице.
–Овај чланак је објављен од странепроизвођач машина за вакуумско премазивањеГуангдонг Зхенхуа
Време објаве: 11. октобар 2023.