Veshje me spërkatje magnetronike kryhet në shkarkim shkëlqimi, me dendësi të ulët të rrymës së shkarkimit dhe dendësi të ulët të plazmës në dhomën e veshjes. Kjo bën që teknologjia e spërkatjes magnetronike të ketë disavantazhe të tilla si forca e ulët e lidhjes së substratit të filmit, shkalla e ulët e jonizimit të metalit dhe shkalla e ulët e depozitimit. Në makinën e veshjes me spërkatje magnetronike, shtohet një pajisje shkarkimi me hark, e cila mund të përdorë rrjedhën e elektroneve me dendësi të lartë në plazmën e harkut të gjeneruar nga shkarkimi me hark për të pastruar pjesën e punës. Gjithashtu mund të marrë pjesë në veshje dhe depozitim ndihmës.
Shtoni një burim energjie shkarkimi me hark në makinën e veshjes me spërkatje magnetroni, i cili mund të jetë një burim i vogël harku, një burim harku planar drejtkëndor ose një burim cilindrik harku katodik. Rrjedha e elektroneve me dendësi të lartë e gjeneruar nga burimi i harkut katodik mund të luajë rolet e mëposhtme në të gjithë procesin e veshjes me spërkatje magnetroni:
1. Pastroni copën e punës. Para veshjes, ndizni burimin e harkut të katodës etj., jonizoni gazin me rrjedhë elektronesh të harkut dhe pastroni copën e punës me jone argoni me energji të ulët dhe dendësi të lartë.
2. Burimi i harkut dhe objektivi i kontrollit magnetik janë të veshura së bashku. Kur objektivi i spërkatjes magnetron me shkarkim shkëlqimi aktivizohet për veshje, burimi i harkut katodik aktivizohet gjithashtu, dhe të dy burimet e veshjes janë të veshura njëkohësisht. Kur përbërja e materialit të objektivit të spërkatjes magnetron dhe materialit të objektivit të burimit të harkut është e ndryshme, mund të veshen shtresa të shumëfishta filmi, dhe shtresa e filmit e depozituar nga burimi i harkut katodik është një shtresë ndërmjetëse në filmin shumështresor.
3. Burimi i harkut katodik siguron rrjedhë elektronesh me dendësi të lartë kur merr pjesë në veshje, duke rritur probabilitetin e përplasjes me atomet e shtresës së filmit metalik të spërkatur dhe gazrat e reagimit, duke përmirësuar shkallën e depozitimit, shkallën e jonizimit të metaleve dhe duke luajtur një rol në ndihmën e depozitimit.
Burimi i harkut katodik i konfiguruar në makinën e veshjes me spërkatje magnetroni integron një burim pastrimi, një burim veshjeje dhe një burim jonizimi, duke luajtur një rol pozitiv në përmirësimin e cilësisë së veshjes me spërkatje magnetroni duke përdorur rrjedhën e elektroneve të harkut në plazmën e harkut.
Koha e postimit: 21 qershor 2023