I se tulaga lautele, e mafai ona vaevaeina CVD i ni ituaiga se lua: o le tasi o loo i le oloa e tasi i luga o le substrate ausa deposition o le tasi-crystal epitaxial layer, lea e vaapiapi CVD; o le isi o le teuina o ata manifinifi i luga o le substrate, e aofia ai le tele-oloa ma ata tifaga amorphous. E tusa ai ma ituaiga eseese o kasa puna o loo faaaogaina, e mafai ona vaevaeina CVD i auala felauaiga halogen ma uamea-organic vapor deposition (MOCVD), o le muamua e halide o se puna kesi, o le mulimuli i uʻamea-organic tuufaatasiga o se puna kesi. E tusa ai ma le mamafa i totonu o le potu tali, e mafai ona vaevaeina i ni ituaiga autu se tolu: CVD faʻamalosia o le ea (APCVD), CVD maualalo (LPCVD) ma le maualuga maualuga o le CVD (UHV / CVD) .E mafai foi ona faʻaaogaina le CVD e avea o se auala fesoasoani faʻaleleia malosi, ma i aso nei o mea masani e aofia ai le plasma-enhanced CVD (PCVD) CVD (PCVD) ma isi. O le CVD e masani lava o se auala e teu ai le kesi.
O le CVD ose auala e fai ai ata tifaga lea e fa'agaoioi ai se vaila'au kesi i le vevela maualuga e maua ai se mea mautu e teu i luga o se mea'ai. Aemaise lava, e fa'afefiloi u'amea u'amea po'o mea fa'aola u'amea ma se kasa va'ava'a e pei o le H, Ar, po'o le N, ona fa'asolo tutusa lea i se substrate maualuga-vevela i totonu o se potu tali e fai ai se ata manifinifi i luga o le substrate e ala i se gaioiga fa'a-kemikolo. E tusa lava po o le a le ituaiga CVD, e mafai ona faʻataunuʻuina ma le manuia le tuʻuina atu e tatau ona faʻamalieina tulaga faʻavae nei: Muamua, i le vevela o le tuʻuina atu, e tatau ona i ai le maualuga o le mamafa o le ausa; Lona lua, o le mea e tali atu ai, e faaopoopo atu i le teuina o manaʻoga mo le tulaga mautu, o le isi vaega o le kasa; Tolu, o le teuina lava ia e tatau ona lava le maualalo o le mamafa o le ausa e faʻamautinoa ai e mafai ona tausia le faagasologa o le tali atu i le faagasologa atoa o le substrate vevela; Lona fa, o le mea substrate o loʻo faʻafeiloaʻi tutusa i le potu tali i luga o le substrate, e ala i le gaioiga faʻamaʻi e fausia ai se ata manifinifi. Fa, o le mamafa o le ausa o mea substrate lava ia e tatau foi ona lava maualalo i le vevela vevela.
– Ua tatalaina lenei tusiga bymasini fa'apipi'i gaogao gaosimeaGuangdong Zhenhua
Taimi meli: Me-04-2024