Na splošno lahko CVD v grobem razdelimo na dve vrsti: ena je nanašanje monokristalne epitaksialne plasti s paro enega izdelka na substrat, kar je ožje ime CVD; druga je nanašanje tankih filmov na substrat, vključno z večproduktnimi in amorfnimi filmi. Glede na različne vrste uporabljenih izvornih plinov lahko CVD razdelimo na metodo transporta halogenov in kovinsko-organsko kemično nanašanje s paro (MOCVD), pri čemer prva uporablja halogenide kot vir plina, druga pa kovinsko-organske spojine kot vir plina. Glede na tlak v reakcijski komori ga lahko razdelimo na tri glavne vrste: CVD pri atmosferskem tlaku (APCVD), CVD pri nizkem tlaku (LPCVD) in CVD v ultra visokem vakuumu (UHV/CVD). CVD se lahko uporablja tudi kot pomožna metoda z izboljšano energijo, danes pa sta med najpogostejšima CVD s plazemsko izboljšano tehnologijo (PECVD) in CVD s svetlobo (PCVD) itd. CVD je v bistvu metoda nanašanja v plinski fazi.
CVD je v bistvu metoda tvorbe filma, pri kateri plinskofazna snov kemično reagira pri visoki temperaturi, da nastane trdna snov, ki se nato nanese na substrat. Natančneje, hlapne kovinske halogenide ali kovinske organske spojine zmešamo z nosilnim plinom, kot so H2, Ar ali N2, nato pa jih v reakcijski komori enakomerno prenesemo na visokotemperaturni substrat, da se na substratu s kemično reakcijo tvori tanek film. Ne glede na vrsto CVD mora biti nanašanje uspešno izpolnjeno pod naslednjimi osnovnimi pogoji: Prvič, pri temperaturi nanašanja morajo imeti reaktanti dovolj visok parni tlak; Drugič, reakcijski produkt mora poleg želenega nanosa v trdnem stanju preostanek nanesti v plinastem stanju; Tretjič, sam nanos mora imeti dovolj nizek parni tlak, da se zagotovi, da se lahko celoten proces nanašanja segreje na substrat; Četrtič, material substrata se enakomerno prenese v reakcijsko komoro na substratu s kemično reakcijo, da se tvori tanek film. Četrtič, parni tlak samega materiala substrata mora biti pri temperaturi nanašanja prav tako dovolj nizek.
–Ta članek je objavljen byproizvajalec strojev za vakuumsko lakiranjeGuangdong Zhenhua
Čas objave: 4. maj 2024