Zariadenie využíva na prípravu oxidového filmu prevažne chemickú depozíciu z pár, ktorá sa vyznačuje rýchlou rýchlosťou nanášania a vysokou kvalitou filmu. Pokiaľ ide o konštrukciu zariadenia, dvojitá dverová konštrukcia zlepšuje účinnosť upnutia a najnovší systém prívodu kvapalného plynu zabezpečuje stabilný a kontrolovateľný prietok a účinne zabezpečuje stabilitu procesu. Film pripravený zariadením má dobrú parotesnú bariéru a dlhšiu dobu stability pri teste varu.
Zariadenie je možné použiť na nehrdzavejúcu oceľ, galvanicky pokovované hardvérové/plastové diely, sklo, keramiku a iné materiály, ako sú elektronické výrobky, LED svetelné korálky, zdravotnícke potreby a ďalšie výrobky, ktoré vyžadujú odolnosť voči oxidácii. Bariérová fólia SiOx je určená najmä na účinné blokovanie vodnej pary, prevenciu korózie a oxidácie a predĺženie životnosti výrobku.
| Voliteľné modely | veľkosť vnútornej komory |
| ZHCVD1200 | φ1200*V1950(mm) |