Volfrámové vlákno sa zahreje na vysokú teplotu, ktorá emituje horúce elektróny a vytvára prúd elektrónov s vysokou hustotou. Zároveň sa nastaví urýchľovacia elektróda, ktorá urýchľuje horúce elektróny do prúdu elektrónov s vysokou energiou. Vďaka vysokej hustote a energii toku elektrónov sa môže viac ionizovať chlór, čím sa získa viac ionizovaných atómov kovovej vrstvy, čím sa získa viac chloridových iónov a zlepší sa rýchlosť naprašovania, čím sa zvýši rýchlosť nanášania. Vďaka väčšej ionizácii kovu sa zlepší rýchlosť ionizácie kovu, čo prispieva k reakcii nanášania zlúčeného filmu. Ióny kovovej vrstvy sa dostanú k obrobku, čím sa zlepší hustota prúdu v obrobku, čím sa zvýši rýchlosť nanášania.
Pri nanášaní tvrdého povlaku magnetrónovým naprašovaním sa zvyšuje hustota prúdu a organizácia filmu na prednej a zadnej strane obrobku po horúcej katóde. Pred pridaním horúcej katódy je hustota prúdu na obrobku TiSiCN iba 0,2 mA/mm2, po zvýšení horúcej katódy na 4,9 mA/mm2, čo zodpovedá približne 24-násobnému zvýšeniu, a organizácia filmu je hustejšia. Je zrejmé, že pri technológii magnetrónového naprašovania je pridanie horúcej katódy veľmi účinné pri zlepšovaní rýchlosti nanášania magnetrónovým naprašovaním a aktivity častíc filmu. Táto technológia môže výrazne zlepšiť životnosť lopatiek turbín, piestov kalové čerpadlo a častí brúsky.
–Tento článok vydávavýrobca vákuových lakovacích strojovGuangdong Zhenhua
Čas uverejnenia: 11. októbra 2023