Filamentul de tungsten este încălzit la o temperatură ridicată, care emite electroni fierbinți pentru a emite un flux de electroni de densitate mare, iar în același timp, un electrod de accelerare este setat pentru a accelera electronii fierbinți într-un flux de electroni de înaltă energie. Fluxul de electroni de înaltă densitate și energie poate fi ionizat cu mai mult clor, mai mulți atomi ai stratului de film metalic pot fi ionizați pentru a obține mai mulți ioni de clorură pentru a îmbunătăți rata de pulverizare, crescând astfel rata de depunere: poate fi ionizată mai mult metalul pentru a îmbunătăți rata de ionizare a metalului, conducând la reacția de depunere a peliculei compuse; ionii stratului de film metalic ajung la piesa de prelucrat pentru a îmbunătăți densitatea de curent a piesei de prelucrat, crescând astfel rata de depunere.
În cazul acoperirii dure prin pulverizare magnetronică, densitatea de curent și organizarea peliculei pe partea din față și din spate a piesei de prelucrat prin catodare la cald cresc. Înainte de adăugarea catodului fierbinte în TiSiCN, densitatea de curent pe piesa de prelucrat este de numai 0,2 mA/mm2, iar după creșterea catodului fierbinte la 4,9 mA/mm2, ceea ce este echivalent cu o creștere de aproximativ 24 de ori, organizarea peliculei este mai densă. Se poate observa că în tehnologia de acoperire prin pulverizare magnetronică, adăugarea unui catod fierbinte este foarte eficientă în îmbunătățirea ratei de depunere prin pulverizare magnetronică și a activității particulelor de peliculă. Această tehnologie poate îmbunătăți semnificativ durata de viață a palelor turbinei, a pistonului pompei de noroi și a pieselor polizorului.
–Acest articol este publicat deproducător de mașini de acoperire în vidGuangdong Zhenhua
Data publicării: 11 oct. 2023