Włókno wolframowe jest podgrzewane do wysokiej temperatury, która emituje gorące elektrony, aby emitować strumień elektronów o wysokiej gęstości, a jednocześnie elektroda przyspieszająca jest ustawiona, aby przyspieszać gorące elektrony do strumienia elektronów o wysokiej energii. Przepływ elektronów o wysokiej gęstości i energii może być bardziej jonizacją chloru, więcej atomów warstwy filmu metalowego zjonizowanych w celu uzyskania większej ilości jonów chlorkowych w celu poprawy szybkości rozpylania, zwiększając tym samym szybkość osadzania: może być bardziej jonizacją metalu w celu poprawy szybkości jonizacji metalu, sprzyjając reakcji osadzania złożonego filmu; jony warstwy filmu metalowego docierają do przedmiotu obrabianego w celu poprawy gęstości prądu przedmiotu obrabianego, zwiększając tym samym szybkość osadzania.
W przypadku twardej powłoki napylanej magnetronowo, wzrost gęstości prądu i organizacji filmu przedmiotu obrabianego z przodu i z tyłu gorącej katodyzacji. TiSiCN przed dodaniem gorącej katody, gęstość prądu na przedmiocie obrabianym wynosi tylko 0,2 mA/mm, po zwiększeniu gorącej katody do 4,9 mA/mm2, co odpowiada wzrostowi około 24-krotnemu, a organizacja filmu jest bardziej gęsta. Można zauważyć, że w technologii powlekania napylanego magnetronowo, dodanie gorącej katody jest bardzo skuteczne w poprawie szybkości osadzania napylanego magnetronowo i aktywności cząstek filmu. Ta technologia może znacznie wydłużyć żywotność łopatek turbin, tłoków pomp błotnych i części szlifierek.
– Artykuł ten został opublikowany przezproducent maszyn do powlekania próżniowegoGuangdong Zhenhua
Czas publikacji: 11-paź-2023