ਸੀਵੀਡੀ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਦੀਆਂ ਕਿਸਮਾਂ

ਮੋਟੇ ਤੌਰ 'ਤੇ, CVD ਨੂੰ ਮੋਟੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਦੋ ਕਿਸਮਾਂ ਵਿੱਚ ਵੰਡਿਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ: ਇੱਕ ਸਿੰਗਲ-ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਐਪੀਟੈਕਸੀਅਲ ਪਰਤ ਦੇ ਸਬਸਟਰੇਟ ਵਾਸ਼ਪ ਜਮ੍ਹਾ 'ਤੇ ਸਿੰਗਲ ਉਤਪਾਦ ਵਿੱਚ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਤੰਗ CVD ਹੁੰਦਾ ਹੈ; ਦੂਜਾ ਸਬਸਟਰੇਟ 'ਤੇ ਪਤਲੀਆਂ ਫਿਲਮਾਂ ਦਾ ਜਮ੍ਹਾ ਹੋਣਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਮਲਟੀ-ਪ੍ਰੋਡਕਟ ਅਤੇ ਅਮੋਰਫਸ ਫਿਲਮਾਂ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ। ਵਰਤੇ ਜਾਣ ਵਾਲੇ ਸਰੋਤ ਗੈਸਾਂ ਦੀਆਂ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਕਿਸਮਾਂ ਦੇ ਅਨੁਸਾਰ, CVD ਨੂੰ ਹੈਲੋਜਨ ਟ੍ਰਾਂਸਪੋਰਟ ਵਿਧੀ ਅਤੇ ਧਾਤੂ-ਜੈਵਿਕ ਰਸਾਇਣਕ ਵਾਸ਼ਪ ਜਮ੍ਹਾ (MOCVD) ਵਿੱਚ ਵੰਡਿਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਪਹਿਲਾਂ ਗੈਸ ਸਰੋਤ ਵਜੋਂ ਹੈਲਾਈਡ ਕਰਨ ਲਈ, ਬਾਅਦ ਵਾਲਾ ਗੈਸ ਸਰੋਤ ਵਜੋਂ ਧਾਤੂ-ਜੈਵਿਕ ਮਿਸ਼ਰਣਾਂ ਵਿੱਚ। ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚ ਦਬਾਅ ਦੇ ਅਨੁਸਾਰ, ਇਸਨੂੰ ਤਿੰਨ ਮੁੱਖ ਕਿਸਮਾਂ ਵਿੱਚ ਵੰਡਿਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ: ਵਾਯੂਮੰਡਲ ਦਬਾਅ CVD (APCVD), ਘੱਟ ਦਬਾਅ CVD (LPCVD) ਅਤੇ ਅਤਿ-ਉੱਚ ਵੈਕਿਊਮ CVD (UHV/CVD)।CVD ਨੂੰ ਊਰਜਾ-ਵਧਾਈ ਸਹਾਇਕ ਵਿਧੀ ਵਜੋਂ ਵੀ ਵਰਤਿਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਅੱਜਕੱਲ੍ਹ ਆਮ ਵਿੱਚ ਪਲਾਜ਼ਮਾ-ਵਧਾਈ CVD (PECVD) ਅਤੇ ਹਲਕਾ-ਵਧਾਈ CVD (PCVD), ਆਦਿ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ। CVD ਅਸਲ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਗੈਸ-ਪੜਾਅ ਜਮ੍ਹਾ ਵਿਧੀ ਹੈ।

CVD ਮੂਲ ਰੂਪ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਫਿਲਮ-ਨਿਰਮਾਣ ਵਿਧੀ ਹੈ ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਗੈਸ-ਪੜਾਅ ਪਦਾਰਥ ਨੂੰ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ 'ਤੇ ਰਸਾਇਣਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ ਤਾਂ ਜੋ ਇੱਕ ਠੋਸ ਪਦਾਰਥ ਪੈਦਾ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕੇ ਜੋ ਇੱਕ ਸਬਸਟਰੇਟ 'ਤੇ ਜਮ੍ਹਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਖਾਸ ਤੌਰ 'ਤੇ, ਅਸਥਿਰ ਧਾਤ ਦੇ ਹੈਲਾਈਡ ਜਾਂ ਧਾਤ ਦੇ ਜੈਵਿਕ ਮਿਸ਼ਰਣਾਂ ਨੂੰ H, Ar, ਜਾਂ N ਵਰਗੀ ਇੱਕ ਕੈਰੀਅਰ ਗੈਸ ਨਾਲ ਮਿਲਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਫਿਰ ਇੱਕ ਰਸਾਇਣਕ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਦੁਆਰਾ ਸਬਸਟਰੇਟ 'ਤੇ ਇੱਕ ਪਤਲੀ ਫਿਲਮ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਇੱਕ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਸਬਸਟਰੇਟ ਵਿੱਚ ਇੱਕਸਾਰ ਰੂਪ ਵਿੱਚ ਲਿਜਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। CVD ਦੀ ਕਿਸਮ ਕੋਈ ਵੀ ਹੋਵੇ, ਜਮ੍ਹਾ ਸਫਲਤਾਪੂਰਵਕ ਕੀਤੀ ਜਾ ਸਕਦੀ ਹੈ, ਹੇਠ ਲਿਖੀਆਂ ਬੁਨਿਆਦੀ ਸ਼ਰਤਾਂ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰਨਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ: ਪਹਿਲਾਂ, ਜਮ੍ਹਾ ਤਾਪਮਾਨ ਵਿੱਚ, ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆਕਾਰਾਂ ਦਾ ਕਾਫ਼ੀ ਉੱਚ ਭਾਫ਼ ਦਬਾਅ ਹੋਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ; ਦੂਜਾ, ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਉਤਪਾਦ, ਠੋਸ ਅਵਸਥਾ ਲਈ ਲੋੜੀਂਦੇ ਜਮ੍ਹਾ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਬਾਕੀ ਗੈਸੀ ਅਵਸਥਾ; ਤੀਜਾ, ਜਮ੍ਹਾ ਆਪਣੇ ਆਪ ਵਿੱਚ ਕਾਫ਼ੀ ਘੱਟ ਭਾਫ਼ ਦਬਾਅ ਹੋਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ ਤਾਂ ਜੋ ਇਹ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਇਆ ਜਾ ਸਕੇ ਕਿ ਜਮ੍ਹਾ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਨੂੰ ਗਰਮ ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੀ ਪੂਰੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਰੱਖਿਆ ਜਾ ਸਕੇ; ਚੌਥਾ, ਸਬਸਟਰੇਟ ਸਮੱਗਰੀ ਨੂੰ ਸਬਸਟਰੇਟ 'ਤੇ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚ ਇੱਕਸਾਰ ਰੂਪ ਵਿੱਚ ਲਿਜਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਇੱਕ ਪਤਲੀ ਫਿਲਮ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਰਸਾਇਣਕ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਦੁਆਰਾ। ਚੌਥਾ, ਸਬਸਟਰੇਟ ਸਮੱਗਰੀ ਦਾ ਭਾਫ਼ ਦਬਾਅ ਵੀ ਜਮ੍ਹਾ ਤਾਪਮਾਨ 'ਤੇ ਕਾਫ਼ੀ ਘੱਟ ਹੋਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ।

- ਇਹ ਲੇਖ ਪ੍ਰਕਾਸ਼ਿਤ ਹੋਇਆ ਹੈ। byਵੈਕਿਊਮ ਕੋਟਿੰਗ ਮਸ਼ੀਨ ਨਿਰਮਾਤਾਗੁਆਂਗਡੋਂਗ ਜ਼ੇਨਹੂਆ