ଏହି ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକ ମୁଖ୍ୟତଃ ଅକ୍ସାଇଡ୍ ଫିଲ୍ମ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରିବା ପାଇଁ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା ଗ୍ରହଣ କରନ୍ତି, ଯାହାର ଦ୍ରୁତ ଜମା ହାର ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ଫିଲ୍ମ ଗୁଣବତ୍ତାର ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ରହିଛି। ଉପକରଣ ଗଠନ ପାଇଁ, କ୍ଲାମ୍ପିଂ ଦକ୍ଷତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିବା ପାଇଁ ଡବଲ୍ ଡୋର୍ ଗଠନ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଏ, ଏବଂ ସ୍ଥିର ଏବଂ ନିୟନ୍ତ୍ରଣଯୋଗ୍ୟ ପ୍ରବାହ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସ୍ଥିରତାକୁ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ନୂତନତମ ତରଳ ଗ୍ୟାସ୍ ଯୋଗାଣ ବ୍ୟବସ୍ଥା ଗ୍ରହଣ କରାଯାଏ। ଉପକରଣ ଦ୍ୱାରା ପ୍ରସ୍ତୁତ ଫିଲ୍ମରେ ଭଲ ଜଳୀୟ ବାଷ୍ପ ବାଧା ଏବଂ ଫୁଟିବା ପରୀକ୍ଷାରେ ଅଧିକ ସ୍ଥାୟୀ ଅବଧି ରହିଛି।
ଏହି ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକ ଷ୍ଟେନଲେସ୍ ଷ୍ଟିଲ୍, ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋପ୍ଲେଟେଡ୍ ହାର୍ଡୱେର୍ / ପ୍ଲାଷ୍ଟିକ୍ ଅଂଶ, କାଚ, ମାଟି ମାଟି ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀ, ଯେପରିକି ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଉତ୍ପାଦ, LED ଲାଇଟ୍ ବିଡ୍, ଚିକିତ୍ସା ସାମଗ୍ରୀ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଉତ୍ପାଦ ଯାହାର ଅକ୍ସିଡେସନ୍ ପ୍ରତିରୋଧ ଆବଶ୍ୟକ, ଉପରେ ପ୍ରୟୋଗ କରାଯାଇପାରିବ। SiOx ବାଧା ଫିଲ୍ମ ମୁଖ୍ୟତଃ ଜଳୀୟ ବାଷ୍ପକୁ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ଅବରୋଧ କରିବା, କ୍ଷୟ ଏବଂ ଅକ୍ସିଡେସନ୍ ରୋକିବା ଏବଂ ଉତ୍ପାଦ ଜୀବନକୁ ଉନ୍ନତ କରିବା ପାଇଁ ପ୍ରସ୍ତୁତ।
| ଇଚ୍ଛାଧୀନ ମଡେଲଗୁଡ଼ିକ | ଭିତର ଚାମ୍ବର ଆକାର |
| ଜେଡଏଚ୍ସିଭିଡି୧୨୦୦ | φ୧୨୦୦*H୧୯୫୦(ମିମି) |