ବ୍ୟାପକ ଭାବରେ କହିବାକୁ ଗଲେ, CVD କୁ ପ୍ରାୟତଃ ଦୁଇ ପ୍ରକାରରେ ବିଭକ୍ତ କରାଯାଇପାରିବ: ଗୋଟିଏ ହେଉଛି ଏକକ-କ୍ରିଷ୍ଟାଲ ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ସ୍ତରର ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ବାଷ୍ପ ଜମା ଉପରେ ଏକକ ଉତ୍ପାଦ, ଯାହା ସଂକୀର୍ଣ୍ଣ ଭାବରେ CVD ଅଟେ; ଅନ୍ୟଟି ହେଉଛି ବହୁ-ଉତ୍ପାଦ ଏବଂ ଆକାରହୀନ ଫିଲ୍ମ ସମେତ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ପତଳା ଫିଲ୍ମର ଜମା। ବ୍ୟବହୃତ ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକାରର ଉତ୍ସ ଗ୍ୟାସ ଅନୁସାରେ, CVD କୁ ହାଲୋଜେନ୍ ପରିବହନ ପଦ୍ଧତି ଏବଂ ଧାତୁ-ଜୈବ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା (MOCVD) ରେ ବିଭକ୍ତ କରାଯାଇପାରିବ, ପ୍ରଥମଟି ଗ୍ୟାସ ଉତ୍ସ ଭାବରେ ହାଲାଇଡ୍ କରିବା ପାଇଁ, ପରବର୍ତ୍ତୀଟି ଗ୍ୟାସ ଉତ୍ସ ଭାବରେ ଧାତୁ-ଜୈବ ଯୌଗିକକୁ। ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଚାମ୍ବରରେ ଚାପ ଅନୁସାରେ, ଏହାକୁ ତିନୋଟି ମୁଖ୍ୟ ପ୍ରକାରରେ ବିଭକ୍ତ କରାଯାଇପାରିବ: ବାୟୁମଣ୍ଡଳୀୟ ଚାପ CVD (APCVD), ନିମ୍ନ ଚାପ CVD (LPCVD) ଏବଂ ଅଲ୍ଟ୍ରା-ହାଇ ଭାକ୍ୟୁମ୍ CVD (UHV/CVD)। CVD କୁ ଏକ ଶକ୍ତି-ବର୍ଦ୍ଧିତ ସହାୟକ ପଦ୍ଧତି ଭାବରେ ମଧ୍ୟ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ, ଏବଂ ଆଜିକାଲି ସାଧାରଣ ପଦ୍ଧତିଗୁଡ଼ିକ ମଧ୍ୟରେ ପ୍ଲାଜମା-ବର୍ଦ୍ଧିତ CVD (PECVD) ଏବଂ ଆଲୋକ-ବର୍ଦ୍ଧିତ CVD (PCVD) ଇତ୍ୟାଦି ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ। CVD ମୂଳତଃ ଏକ ଗ୍ୟାସ-ଫେଜ୍ ଜମା ପଦ୍ଧତି।
CVD ମୂଳତଃ ଏକ ଫିଲ୍ମ-ଗଠନ ପଦ୍ଧତି ଯେଉଁଥିରେ ଏକ ଗ୍ୟାସ-ଫେଜ୍ ପଦାର୍ଥକୁ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ରାସାୟନିକ ଭାବରେ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରାଯାଇ ଏକ କଠିନ ପଦାର୍ଥ ଉତ୍ପାଦନ କରାଯାଏ ଯାହା ଏକ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ଜମା ହୋଇଥାଏ। ବିଶେଷକରି, ଅସ୍ଥିର ଧାତୁ ହାଲାଇଡ୍ କିମ୍ବା ଧାତୁ ଜୈବ ଯୌଗିକଗୁଡ଼ିକୁ H, Ar, କିମ୍ବା N ପରି ଏକ ବାହକ ଗ୍ୟାସ ସହିତ ମିଶ୍ରିତ କରାଯାଏ, ଏବଂ ତା’ପରେ ଏକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଚାମ୍ବରରେ ଏକ ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ କୁ ସମାନ ଭାବରେ ପରିବହନ କରାଯାଏ ଯାହା ଦ୍ୱାରା ଏକ ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ମାଧ୍ୟମରେ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ଏକ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ଗଠନ କରାଯାଏ। CVD ଯେକୌଣସି ପ୍ରକାରର ହେଉନା କାହିଁକି, ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସଫଳତାର ସହିତ କାର୍ଯ୍ୟକାରୀ ହୋଇପାରିବ ନିମ୍ନଲିଖିତ ମୌଳିକ ସର୍ତ୍ତାବଳୀ ପୂରଣ କରିବା ଆବଶ୍ୟକ: ପ୍ରଥମତଃ, ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ତାପମାତ୍ରାରେ, ପ୍ରତିକ୍ରିୟାକାରୀମାନଙ୍କର ଯଥେଷ୍ଟ ଉଚ୍ଚ ବାଷ୍ପ ଚାପ ରହିବା ଆବଶ୍ୟକ; ଦ୍ୱିତୀୟତଃ, କଠିନ ଅବସ୍ଥା ପାଇଁ ଇଚ୍ଛିତ ଜମା ବ୍ୟତୀତ, ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଉତ୍ପାଦ, ବାଷ୍ପ ଅବସ୍ଥାର ଅବଶିଷ୍ଟ ଅଂଶ; ତୃତୀୟତଃ, ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ନିଜେ ଯଥେଷ୍ଟ କମ୍ ବାଷ୍ପ ଚାପ ହେବା ଉଚିତ ଯାହା ନିଶ୍ଚିତ କରିବ ଯେ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ର ସମଗ୍ର ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ପ୍ରକ୍ରିୟା ରଖାଯାଇପାରିବ; ଚତୁର୍ଥତଃ, ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସାମଗ୍ରୀକୁ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ଥିବା ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଚାମ୍ବରକୁ ସମାନ ଭାବରେ ପରିବହନ କରାଯାଏ, ଏକ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ଗଠନ କରିବା ପାଇଁ ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ମାଧ୍ୟମରେ। ଚତୁର୍ଥତଃ, ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସାମଗ୍ରୀର ବାଷ୍ପ ଚାପ ମଧ୍ୟ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ତାପମାତ୍ରାରେ ଯଥେଷ୍ଟ କମ୍ ହେବା ଉଚିତ।
–ଏହି ଲେଖାଟି ପ୍ରକାଶିତ ହୋଇଛି byଭାକ୍ୟୁମ୍ କୋଟିଂ ମେସିନ୍ ନିର୍ମାତାଗୁଆଙ୍ଗଡଙ୍ଗ ଜେନହୁଆ |
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ମଇ-୦୪-୨୦୨୪