Wolframfilamentet varmes opp til høy temperatur, noe som avgir varme elektroner for å avgi en elektronstrøm med høy tetthet, og samtidig settes en akselererende elektrode inn for å akselerere de varme elektronene til en elektronstrøm med høy energi. Elektronstrømmen med høy tetthet og høy energi kan økes ved å ionisere mer klor og ionisere flere metallfilmlagatomer for å oppnå flere kloridioner. Dette forbedrer sputterhastigheten og øker dermed avsetningshastigheten. Mer metallionisering kan forbedre metallioniseringshastigheten, noe som bidrar til avsetningsreaksjonen til den sammensatte filmen. Metallfilmlagioner kan nå arbeidsstykket for å forbedre arbeidsstykkets strømtetthet og dermed øke avsetningshastigheten.
I magnetronsputteringshardbelegg øker strømtettheten og filmorganiseringen av arbeidsstykket foran og bak varmkatodisering. TiSiCN før tilsetning av varm katode er strømtettheten på arbeidsstykket bare 0,2 mA/mm2, etter økningen av varm katode til 4,9 mA/mm2, noe som tilsvarer en økning på omtrent 24 ganger, og filmorganiseringen er tettere. Det kan sees at i magnetronsputteringsbeleggteknologi er tilsetning av varm katode svært effektivt for å forbedre magnetronsputteringsavsetningshastigheten og aktiviteten til filmpartiklene. Denne teknologien kan forbedre levetiden til turbinblader, slampumpestempler og slipemaskindeler betydelig.
– Denne artikkelen er publisert avprodusent av vakuumbeleggsmaskinerGuangdong Zhenhua
Publisert: 11. oktober 2023