Het wolfraamfilament wordt verhit tot een hoge temperatuur, waardoor hete elektronen worden uitgezonden in een elektronenstroom met hoge dichtheid. Tegelijkertijd wordt een versnellingselektrode geplaatst om de hete elektronen te versnellen tot een elektronenstroom met hoge energie. Een elektronenstroom met hoge dichtheid en hoge energie kan meer chloorionisatie vereisen, waardoor meer atomen in de metaalfilmlaag worden geïoniseerd om meer chloride-ionen te verkrijgen en zo de sputtersnelheid te verbeteren en zo de afzettingssnelheid te verhogen. Meer metaalionisatie kan de metaalionisatiesnelheid verbeteren, wat bevorderlijk is voor de reactie van de afzetting van de samengestelde film; ionen in de metaalfilmlaag bereiken het werkstuk om de stroomdichtheid van het werkstuk te verbeteren en zo de afzettingssnelheid te verhogen.
Bij magnetron sputteren met een harde coating neemt de stroomdichtheid en de filmorganisatie van het werkstuk toe, zowel voor als achter, tijdens hete kathodisatie. Vóór de toevoeging van een hete kathode is de stroomdichtheid op het werkstuk slechts 0,2 mA/mm², na de verhoging van de hete kathode tot 4,9 mA/mm², wat overeenkomt met een toename van ongeveer 24 keer, en is de filmorganisatie dichter. Het is duidelijk dat bij magnetron sputteren met een coatingtechnologie de toevoeging van een hete kathode zeer effectief is in het verbeteren van de afzettingssnelheid en de activiteit van de filmdeeltjes. Deze technologie kan de levensduur van turbinebladen, plunjers van modderpompen en slijponderdelen aanzienlijk verbeteren.
–Dit artikel is gepubliceerd doorfabrikant van vacuümcoatingmachinesGuangdong Zhenhua
Geplaatst op: 11-10-2023