လိုအပ်ချက်များသော vacuum coating လုပ်ငန်းစဉ်များတွင်၊အခန်းသန့်ရှင်းရေးအခြေခံဖိအား၊ ဖလင်သန့်စင်မှု၊ ကပ်ငြိမှုနှင့် အဆုံးစွန်ထုတ်ကုန်စွမ်းဆောင်ရည်တို့ကို တိုက်ရိုက်ဆုံးဖြတ်ပေးသည်။ ပုံမှန်နေ့စဉ်သန့်ရှင်းရေးလုပ်ခြင်းသည် အချိန်ကြာလာသည်နှင့်အမျှ စုပုံလာသော ခေါင်းမာသောညစ်ညမ်းမှုများကို ဖယ်ရှားရန် မလုံလောက်ပါ။ ထို့ကြောင့်၊ ပုံမှန်နက်ရှိုင်းစွာသန့်ရှင်းရေးလုပ်ခြင်းသည် မြင့်မားသောထုတ်လုပ်မှုစံနှုန်းများကို ထိန်းသိမ်းရန်အတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သောလုပ်ထုံးလုပ်နည်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ ဤဆောင်းပါးသည် ဖုန်စုပ်ခန်းများကို နက်ရှိုင်းစွာသန့်ရှင်းရေးလုပ်ခြင်းအတွက် ပရော်ဖက်ရှင်နယ်လုပ်ထုံးလုပ်နည်းများနှင့် အဓိကထည့်သွင်းစဉ်းစားရမည့်အချက်များကို စနစ်တကျအသေးစိတ်ဖော်ပြထားသည်။
I. သန့်ရှင်းရေးမတိုင်မီ ပြင်ဆင်မှုနှင့် ဘေးကင်းရေးဆိုင်ရာ လုပ်ထုံးလုပ်နည်းများ
စနစ်လေဝင်လေထွက်နှင့် ပါဝါခွဲထုတ်ခြင်း- လုပ်ငန်းစဉ်စက်ဝန်းအားလုံး ပြီးစီးကြောင်းနှင့် အခန်းကို လေထုဖိအားသို့ ပြန်ပို့ကြောင်း သေချာပါစေ။ လည်ပတ်မှုဘေးကင်းရေးကို အာမခံသည့် ပါဝါအရင်းအမြစ်အားလုံး (ဗို့အားမြင့်၊ RF၊ အပူပေးစက်များ)၊ ဓာတ်ငွေ့ထောက်ပံ့မှုများနှင့် ရေလိုင်းများကို သီးခြားခွဲထုတ်ရန် အပြည့်အဝ Lockout-Tagout လုပ်ထုံးလုပ်နည်းကို အကောင်အထည်ဖော်ပါ။
အစိတ်အပိုင်းဖယ်ရှားခြင်းနှင့် ဇုန်ခွဲခြားခြင်း- ကွာ့ဇ်ခရစ်စတယ် မိုက်ခရိုမော်နီတာများ၏ အောက်ခံအဖုံးများ၊ ရှပ်တာ၊ အငွေ့ပျံလှေများ၊ အာ့ခ်ကတ်သိုများ၊ ဘန်ဖယ်များနှင့် အာရုံခံခေါင်းများကဲ့သို့သော ဖြုတ်တပ်နိုင်သော အတွင်းပိုင်းအစိတ်အပိုင်းအားလုံးကို ဖြုတ်တပ်ပါ။ ၎င်းသည် အခန်းကို အဓိကသန့်ရှင်းရေးနေရာနှစ်ခုဖြစ်သည့် “အဓိကကိုယ်ထည်” နှင့် “အစိတ်အပိုင်းများ” အဖြစ် ပိုင်းခြားပေးပြီး ပိုမိုစေ့စပ်စွာ သန့်ရှင်းရေးလုပ်ရန် လွယ်ကူစေသည်။
ညစ်ညမ်းမှု ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာခြင်း- အောက်ပါတို့အပါအဝင် ညစ်ညမ်းမှုအမျိုးအစားများ၏ ကနဦးအကဲဖြတ်မှုတစ်ခု ပြုလုပ်ပါ-
ပိုလီမာဓာတ်ပြုထားသော အကြွင်းအကျန်များ- PVD ရင်းမြစ်များ သို့မဟုတ် အငွေ့ပျံပစ္စည်းများမှ ပက်ဖျန်းသည်။
အော်ဂဲနစ်မဟုတ်သော အပေါ်ယံလွှာများ- အောက်ခံမဟုတ်သောနေရာများ (ဥပမာ၊ အခန်းနံရံများ) တွင် စုပုံနေသော အလွှာပါးများ။
ဖုန်စုပ်စက်ဆီ အကြွင်းအကျန်များ- နောက်ပြန်စီးဆင်းမှု သို့မဟုတ် ပန့်ချို့ယွင်းမှုများကြောင့် ဟိုက်ဒရိုကာဗွန်ညစ်ညမ်းမှု။
အမှုန်အမွှားများ- ဖုန်မှုန့်၊ အမျှင်များ သို့မဟုတ် အလွှာလိုက်ကွာကျနေသော အမှုန်အမွှားများ။
II. သန့်ရှင်းရေးနည်းလမ်းများနှင့် လုပ်ငန်းစဉ်ရွေးချယ်မှု
သင့်လျော်သော သန့်ရှင်းရေးနည်းလမ်းများကို ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ သန့်ရှင်းရေးမှ ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာ သန့်ရှင်းရေးအထိ အစီအစဉ်အတိုင်း သီးခြား ညစ်ညမ်းပစ္စည်းများအပေါ် အခြေခံ၍ ရွေးချယ်ရမည်။
ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ သန့်ရှင်းရေးနည်းလမ်းများ
ခြောက်သွေ့စွာ ပေါက်ကွဲမှု / ပုတီးစေ့ပေါက်ကွဲမှု- အခန်းနံရံများနှင့် လေးလံသော အပေါ်ယံလွှာများကို ထိခိုက်စေရန်အတွက် ထိန်းချုပ်ထားသော ဖိအားဖြင့် သေးငယ်သော၊ ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာ မလှုပ်ရှားနိုင်သော မီဒီယာ (ဥပမာ- အလူမီနာ၊ ဆိုဒီယမ် ဘိုင်ကာဗွန်နိတ်) ကို အသုံးပြုသည်။ ခေါင်းမာသော အဖုအထစ်များနှင့် ထူထဲသော အညစ်အကြေးများကို ထိရောက်စွာ ဖယ်ရှားပေးပြီး တစ်ပြေးညီ မတ်မတ် မျက်နှာပြင်ကို ဖန်တီးပေးသည်။
အမွေးအမှင်ကင်းသော သုတ်တံများနှင့် အသန့်စင်ဆုံး ပျော်ရည်များ- ယေဘုယျညစ်ညမ်းမှုရှိသော ကျယ်ပြန့်သောနေရာများအတွက်၊ အသန့်စင်ဆုံး ပျော်ရည်များ (ဥပမာ Isopropyl Alcohol၊ Acetone သို့မဟုတ် အထူး VOCs) ဖြင့်စိုစွတ်ထားသော ရက်လုပ်မထားသော သုတ်တံများ (ဥပမာ polyester သို့မဟုတ် အမွေးအမှင်ကင်းသော အဝတ်များ) ကို အသုံးပြုပါ။ ပြန်လည်ညစ်ညမ်းမှုကို ရှောင်ရှားရန် တစ်ဖက်သတ်နည်းလမ်းဖြင့် သုတ်ပါ။
ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာ သန့်ရှင်းရေးနည်းလမ်းများ
အရည်ပျော်ပစ္စည်း သန့်ရှင်းရေး- ပစ်မှတ်ထားသော ဆီများနှင့် အချို့သော ပိုလီမာများကို နှစ်မြှုပ်ခြင်း သို့မဟုတ် သုတ်ခြင်းအတွက် သီးခြားအရည်ပျော်ပစ္စည်းများကို အသုံးပြု၍ ဖြေရှင်းနိုင်ပါသည်။ အရည်ပျော်ပစ္စည်းသည် ညစ်ညမ်းမှုရင်းမြစ်အသစ်တစ်ခု မဖြစ်စေရန်နှင့် လေဟာနယ်ရောက်ရှိမှုကို တားဆီးရန်အတွက် သန့်ရှင်းရေးလုပ်ပြီးနောက် လုံးဝဖယ်ရှားရန် မဖြစ်မနေလိုအပ်ပါသည်။
ဓာတုဗေဒနည်းဖြင့်စိမ်ခြင်းနှင့် ခွာခြင်း- ဖယ်ရှားလိုက်သော အစိတ်အပိုင်းများကို သီးသန့်အပေါ်ယံလွှာခွာခြင်း သို့မဟုတ် အက်ဆစ်/အယ်ကာလိုင်းအရည်များ (ဥပမာ၊ နိုက်ထရစ်အက်ဆစ်၊ ဆိုဒီယမ်ဟိုက်ဒရောက်ဆိုဒ်) ထဲတွင် နှစ်မြှုပ်ပြီး အော်ဂဲနစ်မဟုတ်သော အပေါ်ယံလွှာများနှင့် အောက်ဆိုဒ်များကို ပျော်ဝင်စေပါ။ အောက်ခံမျက်နှာပြင် ချေးခြင်းကို ရှောင်ရှားရန် ပါဝင်မှု၊ အပူချိန်နှင့် နှစ်မြှုပ်ချိန်ကို တင်းကြပ်စွာ ထိန်းချုပ်ပါ။ အိုင်းယွန်းကင်းစင်သောရေဖြင့် သေချာစွာဆေးကြောပြီး အမြန်ခြောက်သွေ့အောင် လုပ်ပါ။
မျက်နှာပြင် အသက်သွင်းခြင်းနှင့် တည်ငြိမ်စေခြင်း
သံမဏိအခန်းများအတွက်၊ နက်ရှိုင်းစွာ သန့်စင်ပြီးနောက် passivation treatment ကို အသုံးပြုနိုင်ပြီး သိပ်သည်းသော ခရိုမီယမ်အောက်ဆိုဒ် အကာအကွယ်အလွှာတစ်ခု ဖန်တီးပေးကာ ချေးခံနိုင်ရည်ကို မြှင့်တင်ပေးပြီး ဓာတ်ငွေ့ထွက်ရှိမှုနှုန်းကို လျှော့ချပေးပါသည်။
III. သန့်ရှင်းရေးပြီးနောက် ကုသမှုနှင့် အတည်ပြုခြင်း
Ultrasonic သန့်ရှင်းရေး- ရှုပ်ထွေးသော ဂျီသြမေတြီများပါရှိသော အစိတ်အပိုင်းများအတွက်၊ ultrasonic သန့်ရှင်းရေးသည် cavitation ကိုအသုံးပြု၍ micropores နှင့် အက်ကွဲကြောင်းများမှ sub-micron အမှုန်များကို ထိရောက်စွာဖယ်ရှားသည်။
အခြောက်ခံခြင်း- သန့်စင်ပြီးသော အစိတ်အပိုင်းအားလုံးကို ဆီမပါသော၊ ခြောက်သွေ့သော နိုက်ထရိုဂျင် သို့မဟုတ် လေဖြင့် အခြောက်ခံပြီး စုပ်ယူထားသော အစိုဓာတ်ကို လုံးဝဖယ်ရှားရန်အတွက် သင့်လျော်သော အပူချိန် (ဥပမာ 80-120°C) တွင် ဖုတ်ရန်အတွက် မီးဖိုထဲတွင် ချက်ချင်းထည့်ရမည်။
ပြန်လည်တပ်ဆင်ခြင်းနှင့် ယိုစိမ့်မှုစစ်ဆေးခြင်း- ခြောက်သွေ့ပြီး သန့်ရှင်းသော အစိတ်အပိုင်းအားလုံးကို အခန်းထဲသို့ ပြန်ထည့်ပါ။ စုပ်ထုတ်ခြင်းမပြုမီ၊ အခန်းကို မြင့်မားသောသန့်စင်မှုရှိသော နိုက်ထရိုဂျင်ဖြင့် ခေတ္တသန့်စင်ပါ။ စုပ်ထုတ်စနစ်ကို စတင်ပြီး တံဆိပ်ခတ်မျက်နှာပြင်များနှင့် အနားကွပ်ချိတ်ဆက်မှုအားလုံးတွင် ယိုစိမ့်မှုမရှိကြောင်း သေချာစေရန် ကြမ်းတမ်းသောဖုန်စုပ်စက်အဆင့်တွင် ကြမ်းတမ်းသောယိုစိမ့်မှုစစ်ဆေးခြင်းကို လုပ်ဆောင်ပါ။
စွမ်းဆောင်ရည် အတည်ပြုခြင်း- စံ pump-down cycle တစ်ခုကို ပြုလုပ်ပြီး ဖိအားနှင့် အချိန်ကွေးကို မှတ်တမ်းတင်ကာ ကြမ်းတမ်းသောနေရာမှ မြင့်မားသော vacuum အထိ မှတ်တမ်းတင်ကာ ကြိုတင်သန့်ရှင်းရေးဒေတာနှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါ။ သန့်ရှင်းရေးထိရောက်မှုကို ဆုံးဖြတ်ရန်အတွက် နောက်ဆုံးအခြေခံဖိအားနှင့် ၎င်း၏တည်ငြိမ်မှုသည် အရေးကြီးဆုံး စံနှုန်းများဖြစ်သည်။ blank deposition run (အလွှာများမပါဘဲ) ကို လုပ်ဆောင်ပြီးနောက် ပုံမှန်မဟုတ်သော ဓာတ်ငွေ့ထွက်ရှိမှု သို့မဟုတ် ညစ်ညမ်းမှုထုတ်လွှတ်မှု ရှိမရှိ QCM သို့မဟုတ် မျက်နှာပြင်ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာကိရိယာများဖြင့် စောင့်ကြည့်နိုင်သည်။
နိဂုံးချုပ်
ဖုန်စုပ်ခန်းကို နက်ရှိုင်းစွာ သန့်ရှင်းရေးလုပ်ခြင်းသည် သန့်ရှင်းရေးအလုပ်သက်သက်မဟုတ်ဘဲ စနစ်တကျ၊ တိကျသော အင်ဂျင်နီယာလုပ်ငန်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ ၎င်းတွင် အော်ပရေတာများသည် ညစ်ညမ်းမှုယန္တရားများ၊ ပစ္စည်းလိုက်ဖက်ညီမှုနှင့် လုပ်ငန်းစဉ်သတ်မှတ်ချက်များကို နက်နက်ရှိုင်းရှိုင်း နားလည်ရန် လိုအပ်သည်။ စံသတ်မှတ်ထားသော နက်ရှိုင်းစွာ သန့်ရှင်းရေးလုပ်ငန်းစဉ်ကို တည်ထောင်ပြီး တင်းကြပ်စွာ လိုက်နာခြင်းဖြင့် ထုတ်လုပ်မှုတွင် ချို့ယွင်းချက်နှုန်းကို သိသိသာသာ လျှော့ချနိုင်ပြီး၊ အလွှာပါးစွမ်းဆောင်ရည် ထပ်ခါတလဲလဲလုပ်ဆောင်နိုင်မှုကို မြှင့်တင်ပေးနိုင်ပြီး စက်ပစ္စည်းဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကို တိုးချဲ့ပေးနိုင်သောကြောင့် ယှဉ်ပြိုင်မှုပြင်းထန်သော ဈေးကွက်တွင် လုပ်ငန်းစဉ်သာလွန်ကောင်းမွန်မှုနှင့် ထုတ်ကုန်ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို သေချာစေသည်။
- ဤဆောင်းပါးကို ထုတ်ဝေသူ မဂ္ဂနက်ထရွန် စပတ္တာ အုပ်ခြင်း ကိရိယာများtထုတ်လုပ်သူ Zhenhua ဖုန်စုပ်စက်
ပို့စ်တင်ချိန်: ၂၀၂၅ ခုနှစ်၊ အောက်တိုဘာလ ၃၁ ရက်
