Вакуум бүрэх процессыг шаарддаг үед,танхимын цэвэр байдалСуурийн даралт, хальсны цэвэршилт, наалдац болон бүтээгдэхүүний эцсийн гүйцэтгэлийг шууд тодорхойлдог. Өдөр тутмын тогтмол цэвэрлэгээ нь цаг хугацааны явцад хуримтлагдсан зөрүүд бохирдлыг арилгахад хангалтгүй юм. Тиймээс үе үе гүн цэвэрлэгээ хийх нь өндөр үйлдвэрлэлийн стандартыг хадгалах зайлшгүй шаардлагатай журам юм. Энэхүү нийтлэлд вакуум камерыг гүн цэвэрлэх мэргэжлийн журам болон гол анхаарах зүйлсийн талаар системтэйгээр дэлгэрэнгүй тайлбарласан болно.
I. Цэвэрлэгээний өмнөх бэлтгэл ба аюулгүй байдлын протоколууд
Системийн агааржуулалт ба цахилгаан тусгаарлалт: Бүх процессын мөчлөгүүд дууссан бөгөөд камер нь агаар мандлын даралттай болсон эсэхийг шалгаарай. Ашиглалтын аюулгүй байдлыг баталгаажуулахын тулд бүх цахилгаан эх үүсвэр (өндөр хүчдэл, RF, халаагч), хийн хангамж, усны шугамыг тусгаарлахын тулд бүрэн түгжих-таглах процедурыг хэрэгжүүлнэ үү.
Бүрэлдэхүүн хэсгийг салгах ба бүсчлэх: Субстратын бариул, хаалт, ууршуулах завь, нуман катод, хаалт, кварц болор микро мониторын мэдрэгч толгой зэрэг бүх салгаж болох дотоод эд ангиудыг задална. Энэ нь камерыг хоёр үндсэн цэвэрлэгээний хэсэгт хуваадаг: "үндсэн хэсэг" ба "бүрэлдэхүүн хэсгүүд" бөгөөд энэ нь илүү нарийн цэвэрлэгээ хийхэд хялбар болгодог.
Бохирдуулагчийн шинжилгээ: Бохирдуулагчийн төрлүүдийн урьдчилсан үнэлгээг хийх, үүнд ихэвчлэн дараахь зүйлс орно.
Полимержүүлсэн үлдэгдэл: PVD эх үүсвэр эсвэл ууршуулагчаас цацагдах.
Органик бус бүрхүүл: Субстрат бус хэсгүүдэд (жишээлбэл, камерын хана) хуримтлагдсан нимгэн хальснууд.
Вакуум насосны тосны үлдэгдэл: Буцаан урсгал эсвэл насосны эвдрэлээс үүдэлтэй нүүрсустөрөгчийн бохирдол.
Тоосонцор бохирдуулагч: Тоос, ширхэг, эсвэл хальсан хальсан хэсгүүд.
II. Цэвэрлэгээний аргууд ба процессын сонголт
Тодорхой бохирдуулагч дээр үндэслэн зохих цэвэрлэгээний аргыг сонгох шаардлагатай бөгөөд ихэвчлэн физик цэвэрлэгээнээс эхлээд химийн цэвэрлэгээ хүртэл дарааллыг баримталдаг.
Физик цэвэрлэгээний аргууд
Хуурай тэсэлгээ / Бөмбөлөг тэсэлгээ: Хяналттай даралттай нарийн, химийн идэвхгүй орчин (жишээ нь, хөнгөнцагаан исэл, натрийн бикарбонат) ашиглан камерын хана болон хүнд бүрхүүлд цохилт өгнө. Зөрүүд зангилаа болон зузаан бохирдлыг үр дүнтэй арилгаж, жигд царцсан гадаргуу үүсгэнэ.
Хөвөн арчигч болон өндөр цэвэршилттэй уусгагч: Ерөнхий бохирдолтой том талбайд өндөр цэвэршилттэй уусгагчаар (жишээлбэл, изопропилийн спирт, ацетон эсвэл тусгай зориулалтын дэгдэмхий органик нэгдлүүд) чийглэсэн нэхмэл бус арчигч (жишээ нь, полиэстр эсвэл хөвөнгүй даавуу) ашиглаарай. Дахин бохирдохоос зайлсхийхийн тулд нэг чиглэлд арчина.
Химийн цэвэрлэгээний аргууд
Уусгагчаар цэвэрлэх: Зориулалтын тос болон зарим полимерүүдийг тусгай уусгагчаар дүрэх эсвэл арчих замаар арилгаж болно. Уусгагчийг цэвэрлэсний дараа бүрэн арилгах нь шинэ бохирдлын эх үүсвэр болж, вакуум үүсэхэд саад учруулахаас сэргийлнэ.
Химийн бодисоор дэвтээх ба хуулах: Органик бус бүрхүүл болон ислийг уусгахын тулд зайлуулсан эд ангиудыг зориулалтын бүрхүүл хуулах машин эсвэл хүчиллэг/шүлтлэг уусмалд (жишээ нь, азотын хүчил, натрийн гидроксид) дүрнэ. Суурийн зэврэлтээс зайлсхийхийн тулд концентраци, температур, дүрэх хугацааг хатуу хянана. Дараа нь ионгүйжүүлсэн усаар сайтар зайлж, хурдан хатаана.
Гадаргуугийн идэвхжүүлэлт ба идэвхгүйжүүлэлт
Зэвэрдэггүй ган камеруудын хувьд гүн цэвэрлэгээний дараа хромын исэл хамгаалалтын нягт давхарга үүсгэхийн тулд идэвхгүйжүүлэх боловсруулалт хийж, зэврэлтээс хамгаалах чадварыг нэмэгдүүлж, хийн ялгаралтыг бууруулж болно.
III. Цэвэрлэгээний дараах боловсруулалт ба баталгаажуулалт
Хэт авианы цэвэрлэгээ: Нарийн төвөгтэй геометр бүхий эд ангиудын хувьд хэт авианы цэвэрлэгээ нь микро нүх сүв болон ан цаваас микроноос бага хэмжээтэй тоосонцорыг үр дүнтэй арилгахын тулд кавитацийг ашигладаг.
Хатаах: Бүх цэвэрлэсэн эд ангиудыг тосгүй, хуурай азот эсвэл агаараар хатааж, шингэсэн чийгийг бүрэн арилгахын тулд зохих температурт (жишээ нь, 80-120°C) жигнэх зууханд нэн даруй хийнэ.
Дахин угсрах болон гоожих шалгалт: Бүх хуурай, цэвэр эд ангиудыг камерт буцааж суулгана. Шахахаасаа өмнө камерыг өндөр цэвэршилттэй азотоор богино хугацаанд цэвэрлэнэ. Шахах системийг асааж, битүүмжлэх гадаргуу болон фланцын холболтуудад гоожилт байхгүй эсэхийг шалгахын тулд барзгар вакуум үе шатанд бүдүүн гоожих шалгалт хийнэ.
Гүйцэтгэлийн баталгаажуулалт: Стандарт шахах циклийг хийж, барзгараас өндөр вакуум хүртэлх даралт ба цагийн муруйг бүртгэж, урьдчилан цэвэрлэх өгөгдөлтэй харьцуулна. Суурийн эцсийн даралт болон түүний тогтвортой байдал нь цэвэрлэгээний үр ашгийг үнэлэх хамгийн чухал үзүүлэлт юм. Хоосон тунадасжуулалтыг (суурь материалгүйгээр) хийж, дараа нь QCM эсвэл гадаргуугийн шинжилгээний багаж хэрэгслээр хэвийн бус хий ялгаруулалт эсвэл бохирдуулагч ялгаралтыг хянаж болно.
Дүгнэлт
Вакуум камерыг гүн цэвэрлэх нь зөвхөн цэвэрлэгээний ажил биш, системчилсэн, нарийн инженерчлэлийн ажил юм. Энэ нь операторуудаас бохирдлын механизм, материалын нийцтэй байдал, процессын техникийн үзүүлэлтүүдийн талаар гүнзгий ойлголттой байхыг шаарддаг. Стандартчилагдсан гүн цэвэрлэх протоколыг тогтоож, чанд мөрдсөнөөр үйлдвэрлэлийн согогийн түвшинг мэдэгдэхүйц бууруулж, нимгэн хальсны гүйцэтгэлийн давтагдах чадварыг сайжруулж, тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын хугацааг уртасгаж, улмаар өрсөлдөөнт зах зээл дээр процессын давуу тал, бүтээгдэхүүний найдвартай байдлыг хангах боломжтой.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэн магнетрон цацах бүрэх тоног төхөөрөмжtүйлдвэрлэгч Zhenhua тоос сорогч
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 10-р сарын 31