Վակուումային խցիկների խորը մաքրում. գործընթացի կայունության և բարակ թաղանթի որակի անկյունաքարը

Վակուումային ծածկույթի պահանջկոտ գործընթացներում,խցիկի մաքրությունուղղակիորեն որոշում է հիմքի ճնշումը, թաղանթի մաքրությունը, կպչունությունը և արտադրանքի վերջնական արդյունավետությունը: Ամենօրյա պարբերական մաքրումը բավարար չէ ժամանակի ընթացքում կուտակված համառ աղտոտիչները հեռացնելու համար: Այսպիսով, պարբերական խորը մաքրումը անփոխարինելի ընթացակարգ է բարձր արտադրական չափանիշները պահպանելու համար: Այս հոդվածը համակարգված կերպով մանրամասնում է վակուումային խցիկների խորը մաքրման մասնագիտական ​​ընթացակարգերը և հիմնական նկատառումները:

I. Նախնական մաքրման նախապատրաստում և անվտանգության արձանագրություններ

Համակարգի օդափոխություն և էլեկտրամատակարարման անջատում. Համոզվեք, որ բոլոր գործընթացային ցիկլերն ավարտված են, և խցիկը վերադարձված է մթնոլորտային ճնշմանը: Կիրառեք ամբողջական կողպեք-նշում ընթացակարգ՝ բոլոր էլեկտրամատակարարման աղբյուրները (բարձր լարում, ռադիոհաճախականություն, ջեռուցիչներ), գազի մատակարարումները և ջրագծերը մեկուսացնելու համար՝ երաշխավորելով շահագործման անվտանգությունը:

Բաղադրիչների հեռացում և գոտիավորում. ապամոնտաժեք բոլոր հանվող ներքին բաղադրիչները, ինչպիսիք են հիմքի պահիչները, փեղկերը, գոլորշիացման նավակները, աղեղային կաթոդները, միջնորմները և քվարցային բյուրեղային միկրոմոնիտորների սենսորային գլխիկները: Սա խցիկը բաժանում է երկու հիմնական մաքրման տարածքների՝ «հիմնական մարմին» և «բաղադրիչներ», ինչը նպաստում է ավելի մանրակրկիտ մաքրմանը:

Աղտոտիչների վերլուծություն. Կատարեք աղտոտիչների տեսակների նախնական գնահատում, որը սովորաբար ներառում է.

Պոլիմերացված մնացորդներ. PVD աղբյուրներից կամ գոլորշիացնող նյութերից ցայտք։

Անօրգանական ծածկույթներ. բարակ թաղանթներ, որոնք նստեցվել են ոչ հիմքային հատվածների վրա (օրինակ՝ խցիկի պատեր):

Վակուումային պոմպի յուղի մնացորդներ. ածխաջրածնային աղտոտում հետադարձ հոսքի կամ պոմպի խափանումների պատճառով։

Մասնիկային աղտոտիչներ՝ փոշի, մանրաթելեր կամ թեփոտված թաղանթի մասնիկներ։

II. Մաքրման մեթոդներ և գործընթացի ընտրություն

Անհրաժեշտ է ընտրել համապատասխան մաքրման մեթոդներ՝ հիմնվելով կոնկրետ աղտոտիչների վրա, սովորաբար հետևելով ֆիզիկականից մինչև քիմիական մաքրման հաջորդականությանը։

Ֆիզիկական մաքրման մեթոդներ

Չոր փոշեպատում / գնդաձև փոշեպատում. Օգտագործվում է մանր, քիմիապես իներտ միջավայր (օրինակ՝ ալյումին, նատրիումի բիկարբոնատ) վերահսկվող ճնշման տակ՝ խցիկի պատերի և ծանր ծածկույթների վրա ազդելու համար: Արդյունավետորեն հեռացնում է համառ հանգույցները և խիտ աղտոտիչները՝ ստեղծելով միատարր անփայլ մակերես:

Առանց թելերի սրբիչներ և բարձր մաքրության լուծիչներ. Ընդհանուր աղտոտվածությամբ մեծ տարածքների համար օգտագործեք ոչ հյուսված սրբիչներ (օրինակ՝ պոլիեսթերային կամ թելերից զերծ կտորներ), որոնք խոնավեցված են բարձր մաքրության լուծիչներով (օրինակ՝ իզոպրոպիլային սպիրտ, ացետոն կամ մասնագիտացված ցնդող օրգանական միացություններ): Սրբեք միակողմանի՝ կրկնակի աղտոտումից խուսափելու համար:

Քիմիական մաքրման մեթոդներ

Լուծիչով մաքրում. թիրախային յուղերը և որոշակի պոլիմերները կարող են լուծվել հատուկ լուծիչներով, որոնք կարող են օգտագործվել ջրի մեջ ընկղմման կամ սրբման համար: Լուծիչի լրիվ հեռացումը պարտադիր է մաքրումից հետո՝ կանխելու համար, որ այն դառնա նոր աղտոտման աղբյուր և խոչընդոտի վակուումի հասնելուն:

Քիմիական թրջում և մաքրում. Հեռացված բաղադրիչները ընկղմեք հատուկ ծածկույթի մաքրող սարքերի կամ թթվային/ալկալային լուծույթների մեջ (օրինակ՝ ազոտական ​​թթու, նատրիումի հիդրօքսիդ)՝ անօրգանական ծածկույթներն ու օքսիդները լուծելու համար: Խստորեն վերահսկեք կոնցենտրացիան, ջերմաստիճանը և մաքրման ժամանակը՝ հիմքի կոռոզիայից խուսափելու համար: Այնուհետև մանրակրկիտ լվացեք ապաիոնացված ջրով և արագ չորացրեք:

Մակերեսային ակտիվացում և պասիվացում

Չժանգոտվող պողպատե խցիկների համար խորը մաքրումից հետո կարող է կիրառվել պասիվացման մշակում՝ խիտ քրոմի օքսիդի պաշտպանիչ շերտ ձևավորելու համար, որը կբարձրացնի կոռոզիոն դիմադրությունը և կնվազեցնի գազերի արտանետման արագությունը։

III. Մաքրումից հետո մշակում և ստուգում

Ուլտրաձայնային մաքրում. Բարդ երկրաչափություն ունեցող բաղադրիչների համար ուլտրաձայնային մաքրումը օգտագործում է կավիտացիա՝ միկրոծակոտիներից և ճեղքերից ենթամիկրոնային մասնիկները արդյունավետորեն հեռացնելու համար:

Չորացում. Բոլոր մաքրված բաղադրիչները պետք է չորացվեն յուղ չպարունակող, չոր ազոտով կամ օդով և անմիջապես տեղադրվեն համապատասխան ջերմաստիճանում (օրինակ՝ 80-120°C) թխելու համար նախատեսված ջեռոցում՝ կլանված խոնավությունը լիովին հեռացնելու համար։

Վերամոնտաժում և արտահոսքի ստուգում. Բոլոր չոր և մաքուր բաղադրիչները վերադարձրեք խցիկի մեջ: Մինչև պոմպով ջուրը լցնելը, խցիկը կարճ ժամանակով մաքրեք բարձր մաքրության ազոտով: Միացրեք պոմպային համակարգը և կատարեք արտահոսքի կոպիտ ստուգում կոպիտ վակուումային փուլում՝ համոզվելու համար, որ բոլոր կնքման մակերեսներում և եզրային միացումներում արտահոսքեր չկան:

Արդյունավետության ստուգում. Կատարել ստանդարտ պոմպային ցիկլ՝ գրանցելով ճնշման և ժամանակի կորը՝ կոպիտից մինչև բարձր վակուում, և համեմատել այն նախնական մաքրման տվյալների հետ: Վերջնական հիմնական ճնշումը և դրա կայունությունը մաքրման արդյունավետությունը գնահատելու ամենակարևոր չափանիշներն են: Կարող է իրականացվել դատարկ նստեցման փորձարկում (առանց հիմքերի), որին հաջորդելու է որակի կառավարման ցուցիչի (QCM) կամ մակերեսային վերլուծության գործիքների միջոցով մոնիթորինգ՝ ցանկացած աննորմալ գազազատման կամ աղտոտիչի արտանետման համար:

Եզրակացություն

Վակուումային խցիկի խորը մաքրումը համակարգված, ճշգրիտ ճարտարագիտական ​​​​խնդիր է, այլ ոչ թե պարզապես մաքրման աշխատանք: Այն պահանջում է, որ օպերատորները խորը ըմբռնում ունենան աղտոտման մեխանիզմների, նյութերի համատեղելիության և գործընթացի սպեցիֆիկացիաների վերաբերյալ: Ստանդարտացված խորը մաքրման արձանագրություն սահմանելով և դրան խստորեն հետևելով՝ արտադրության մեջ թերությունների մակարդակը կարող է զգալիորեն նվազել, բարակ թաղանթի կատարողականի կրկնելիությունը բարելավվել, և սարքավորումների ծառայության ժամկետը երկարաձգվել՝ այդպիսով ապահովելով գործընթացի գերազանցությունը և արտադրանքի հուսալիությունը մրցակցային շուկայում:

— Այս հոդվածը հրապարակվել է Մագնետրոնային փոշիացման ծածկույթի սարքավորումներtարտադրող Zhenhua Vacuum