Í krefjandi lofttæmingarferlum,hreinlæti í herberginuákvarðar beint grunnþrýsting, hreinleika filmunnar, viðloðun og endanlegan árangur vörunnar. Regluleg dagleg þrif eru ekki nægjanleg til að fjarlægja þrjósk óhreinindi sem hafa safnast upp með tímanum. Því er reglubundin djúphreinsun ómissandi aðferð til að viðhalda háum framleiðslustöðlum. Þessi grein útfærir kerfisbundið faglegar aðferðir og lykilatriði við djúphreinsun á lofttæmisklefum.
I. Undirbúningur fyrir hreinsun og öryggisreglur
Loftræsting kerfisins og rafmagnseinangrun: Gangið úr skugga um að öllum ferlisferlum sé lokið og að þrýstingur í klefanum sé kominn aftur í andrúmsloftið. Innleiðið fulla læsingar- og merkingaraðferð til að einangra allar aflgjafa (háspennu, RF, hitara), gasbirgðir og vatnsleiðslur og tryggja þannig rekstraröryggi.
Fjarlæging og svæðaskipting íhluta: Takið í sundur alla færanlega innri íhluti, svo sem undirlagshaldara, lokara, uppgufunarbáta, bogakatóða, hljóðdeyfa og skynjarahausa á kvarskristalls-örskjám. Þetta skiptir hólfinu í tvö aðalhreinsunarsvæði: „aðalhlutann“ og „íhlutina“, sem auðveldar ítarlegri þrif.
Mengunargreining: Framkvæmið format á mengunarefnum, þar á meðal oftast:
Fjölliðaðar leifar: Sprettur frá PVD-uppsprettum eða uppgufunarefnum.
Ólífræn húðun: Þunnar filmur sem eru settar á svæði sem ekki eru undirlag (t.d. veggi hólfsins).
Olíuleifar frá lofttæmisdælu: Mengun kolvetna vegna bakstreymis eða bilana í dælu.
Mengunarefni í agnum: Ryk, trefjar eða flögur af filmu.
II. Þrifaðferðir og val á ferli
Velja verður viðeigandi hreinsunaraðferðir út frá tilteknum mengunarefnum, yfirleitt í röð frá eðlisfræðilegri hreinsun til efnafræðilegrar hreinsunar.
Aðferðir við líkamlega hreinsun
Þurrblástur / Perlublástur: Notar fínt, efnafræðilega óvirkt efni (t.d. áloxíð, natríumbíkarbónat) við stýrðan þrýsting til að hafa áhrif á veggi hólfsins og þunga húðun. Fjarlægir á áhrifaríkan hátt þrjósk hnúta og þykk óhreinindi og býr til einsleitt matt yfirborð.
Loðlausar þurrkur og hreinar leysiefni: Fyrir stór svæði með almennri mengun skal nota óofnar þurrkur (t.d. pólýester eða loðlausar klútar) vættar með hreinum leysiefnum (t.d. ísóprópýlalkóhóli, asetóni eða sérhæfðum VOC efnum). Þurrkið í einátta átt til að forðast endurmengun.
Efnafræðilegar þrifaðferðir
Þrif með leysiefnum: Hægt er að meðhöndla ákveðnar olíur og ákveðnar fjölliður með sérstökum leysiefnum til að dýfa í eða þurrka af. Nauðsynlegt er að fjarlægja leysiefnið að fullu eftir hreinsun til að koma í veg fyrir að það verði ný mengunaruppspretta og hindri að lofttæmi náist.
Efnafræðileg ídýfing og fjarlæging: Dýfið fjarlægðum íhlutum í sérstök húðunarfjarlægingartæki eða súrar/basískar lausnir (t.d. saltpéturssýru, natríumhýdroxíð) til að leysa upp ólífrænar húðanir og oxíð. Hafið strangt eftirlit með styrk, hitastigi og dýfingartíma til að koma í veg fyrir tæringu á undirlaginu. Skolið vandlega með afjónuðu vatni og þurrkið hratt.
Yfirborðsvirkjun og óvirkjun
Fyrir hólf úr ryðfríu stáli má beita óvirkjunarmeðferð eftir djúphreinsun til að mynda þétt krómoxíð verndarlag, sem eykur tæringarþol og dregur úr útgasunarhraða.
III. Meðferð og staðfesting eftir hreinsun
Ómskoðunarhreinsun: Fyrir íhluti með flókna rúmfræði notar ómskoðunarhreinsun holrúm til að fjarlægja á áhrifaríkan hátt undir-míkron agnir úr örholum og sprungum.
Þurrkun: Öllum hreinsuðum íhlutum verður að þurrka með olíulausu, þurru köfnunarefni eða lofti og setja þá strax í ofn til bakunar við viðeigandi hitastig (t.d. 80-120°C) til að fjarlægja alveg frásogaðan raka.
Samsetning og lekaprófun: Setjið alla þurra og hreina íhluti aftur í hólfið. Áður en dælt er niður skal hreinsa hólfið stuttlega með hágæða köfnunarefni. Ræsið dælukerfið og framkvæmið grófa lekaprófun á grófu lofttæmisstigi til að tryggja að enginn leki sé á öllum þéttiflötum og flanstengingum.
Staðfesting á afköstum: Framkvæmið staðlaða niðurdælingarlotu, skráið þrýsting á móti tímaferlinum frá grófu lofttæmi upp í hátt lofttæmi og berið hana saman við gögn fyrir forhreinsun. Endanlegur grunnþrýstingur og stöðugleiki hans eru mikilvægustu mælikvarðarnir til að meta árangur hreinsunar. Hægt er að framkvæma útfellingarkeyrslu (án undirlags) og fylgjast síðan með með QCM eða yfirborðsgreiningartækjum til að kanna óeðlilega útgufun eða losun mengunarefna.
Niðurstaða
Djúphreinsun á lofttæmishólfi er kerfisbundið, nákvæmnisverkfræðilegt verkefni, ekki bara þrifaverk. Það krefst þess að rekstraraðilar hafi djúpa skilning á mengunarferlum, samhæfni efna og ferlaforskriftum. Með því að koma á fót og fylgja stranglega stöðluðum djúphreinsunarferlum er hægt að draga verulega úr gallatíðni í framleiðslu, auka endurtekningarhæfni þunnfilmu og lengja endingartíma búnaðar, og þannig tryggja yfirburði í ferlum og áreiðanleika vöru á samkeppnismarkaði.
—Þessi grein var birt af búnaður til að húða magnetron sputteringtframleiðandi Zhenhua tómarúm
Birtingartími: 31. október 2025