טיף רייניקונג פון וואַקוום קאַמערן: דער ווינקלשטיין פון פּראָצעס פעסטקייט און דין-פילם קוואַליטעט

אין פארלאנגנדיקע וואַקוום קאָוטינג פּראָצעסן,קאַמער ריינקייטבאַשטימט גלייך דעם באַזע דרוק, פילם ריינקייט, אַדכיזשאַן, און לעצט פּראָדוקט פאָרשטעלונג. רוטינע טעגלעך רייניקונג איז נישט גענוג צו באַזייַטיקן שווערע קאַנטאַמאַנאַנץ וואָס האָבן זיך אָנגעזאַמלט איבער צייט. אַזוי, פּעריאָדיש טיף רייניקונג איז אַן ינדיספּענסאַבאַל פּראָצעדור פֿאַר מיינטיינינג הויך פּראָדוקציע סטאַנדאַרדס. דער אַרטיקל דערקלערט סיסטעמאַטיש די פאַכמאַן פּראָצעדורן און שליסל קאַנסידעריישאַנז פֿאַר די טיף רייניקונג פון וואַקוום קאַמערן.

I. פאַר-רייניקונג צוגרייטונג און זיכערהייט פּראָטאָקאָלן

סיסטעם ווענטילאציע און מאַכט איזאָלאַציע: זיכער מאַכן אַז אַלע פּראָצעס ציקלען זענען פאַרטיק און די קאַמער איז צוריקגעקומען צו אַטמאָספערישן דרוק. ימפּלעמענטירן אַ פולע לאַקאַוט-טאַגאַוט פּראָצעדור צו איזאָלירן אַלע מאַכט קוועלער (הויך וואָולטידזש, RF, כיטערז), גאַז סאַפּלייז און וואַסער ליניעס, גאַראַנטירנדיק אָפּעראַציאָנעלע זיכערקייט.

קאָמפּאָנענט אַראָפּנעמען און זאָנירן: אַראָפּנעמען אַלע אַראָפּנעמבאַרע אינעווייניקסטע קאָמפּאָנענטן, אַזאַ ווי סאַבסטראַט האָלדערס, שאַטערס, פֿאַרדאַמפּונג שיפן, אַרק קאַטאָודז, באַפֿאַלז, און די סענסאָר קעפּ פון קוואַרץ קריסטאַל מיקראָ מאָניטאָרס. דאָס צעטיילט די קאַמער אין צוויי הויפּט רייניקונג געביטן: די "הויפּט גוף" און די "קאָמפּאָנענטן," וואָס ערמעגליכט אַ מער גרונטלעכע רייניקונג.

קאָנטאַמינאַנט אַנאַליז: דורכפירן אַ פאָרלייפיקע אַסעסמאַנט פון קאָנטאַמינאַנט טייפּס, געוויינטלעך אַרייַנגערעכנט:

פּאָלימעריזירטע רעשטלעך: שפּריצן פון PVD קוועלער אדער עוואַפּאָראַנץ.

נישט-ארגאנישע באַדעקונגען: דין פילמען וואָס זענען אָפּגעלייגט אויף נישט-סאַבסטראַט געביטן (למשל, קאַמער ווענט).

וואַקוום פּאָמפּע אויל רעשטלעך: כיידראָקאַרבאָן קאַנטאַמאַניישאַן רעכט צו צוריקסטרים אָדער פּאָמפּע דורכפאַלן.

פּאַרטיקולאַרע קאַנטאַמאַנאַנץ: שטויב, פיבערס, אָדער אָפּגעפלאַקערטע פילם פּאַרטיקלען.

II. רייניקונג מעטאָדן און פּראָצעס סעלעקציע

פּאַסיקע רייניקונג מעטאָדן מוזן אויסגעקליבן ווערן באַזירט אויף די ספּעציפֿישע קאַנטאַמאַנאַנץ, טיפּיש נאָך אַ סיקוואַנס פון גשמיות צו כעמישער רייניקונג.

פיזישע רייניקונג מעטאָדן

טרוקן בלאַסטינג / בעדל בלאַסטינג: ניצט פיינע, כעמיש אינערטע מעדיע (למשל, אַלומינאַ, סאָדיום ביקאַרבאָנאַט) ביי קאָנטראָלירטן דרוק צו שלאָגן קאַמער ווענט און שווערע קאָוטינגז. עפֿעקטיוו אַראָפּנעמען שווערע קנופּן און דיקע קאַנטאַמאַנאַנץ, שאַפֿנדיק אַ מונדיר מאַט ייבערפלאַך.

לינט-פֿרייע ווישערס און הויך-ריינהייט סאָלווענטן: פֿאַר גרויסע שטחים מיט אַלגעמיינער קאָנטאַמינאַציע, ניצט נישט-געוועבט ווישערס (למשל, פּאָליעסטער אָדער לינט-פֿרייע טיכלעך) פֿײַכט מיט הויך-ריינהייט סאָלווענטן (למשל, איזאָפּראָפּיל אַלקאָהאָל, אַצעטאָן, אָדער ספּעציאַליזירטע VOCs). ווישט אין אַ איין-דירעקשאַנאַלן שטייגער צו פֿאַרמייַדן ווידער-קאַנטאַמאַניישאַן.

כעמישע רייניקונג מעטאָדן

סאָלווענט רייניקונג: געצילטע אָילס און געוויסע פּאָלימערן קענען אַדרעסירט ווערן מיט ספּעציפֿישע סאָלווענטן פֿאַר אייַנטונקען אָדער ווישן. גאַנץ באַזייַטיקונג פון די סאָלווענט איז פארלאנגט נאָך רייניקונג צו פאַרמייַדן עס פון ווערן אַ נייַע קאַנטאַמאַניישאַן מקור און שטערן וואַקוום דערגרייכן.

כעמישע איינווייקן און אויסטרייבן: איינטונקען די אוועקגענומענע קאמפאנענטן אין ספעציעלע באדעקונג אויסטרייבערס אדער זויערע/אלקאלינע לייזונגען (למשל, שטיקשטאף זויער, נאטריום הידראקסייד) צו אויפלעזן אינארגאנישע באדעקונגען און אקסיידן. שטרענג קאנטראלירן קאנצענטראציע, טעמפעראטור, און איינטונקען צייט צו פארמיידן סובסטראט קאראזיע. נאכפאלגן מיט א גרינטלעכן שווענקען מיט דעיאניזירט וואסער און שנעל טריקענען.

ייבערפלאַך אַקטיוואַציע און פּאַסיוואַציע

פֿאַר ומבאַפלעקט שטאָל קאַמערן, קען מען צולייגן אַ פּאַסיוואַציע באַהאַנדלונג נאָך טיף רייניקונג צו פֿאָרמירן אַ געדיכטע כראָום אָקסייד פּראַטעקטיוו שיכט, פֿאַרבעסערנדיק קעראָוזשאַן קעגנשטעל און רעדוצירן אויסגאַזינג ראַטעס.

III. נאך-רייניקונג באהאנדלונג און וועריפיקאציע

אולטראַסאָניק רייניקונג: פֿאַר קאָמפּאָנענטן מיט קאָמפּלעקסע געאָמעטריעס, אולטראַסאָניק רייניקונג ניצט קאַוויטאַציע צו יפעקטיוולי באַזייַטיקן סוב-מיקראָן פּאַרטיקאַלז פון מיקראָפּאָרעס און שפּאַלטן.

טריקענען: אַלע רייניגע קאָמפּאָנענטן מוזן ווערן געטריקנט מיט אָיל-פֿרײַעם, טרוקענעם שטיקשטאָף אָדער לופֿט און גלייך געשטעלט אין אַן אויוון צום באַקן בײַ אַ פּאַסיקער טעמפּעראַטור (למשל, 80-120°C) כּדי גרינטלעך צו באַזײַטיקן די אַדסאָרבירטע פֿײַכטקייט.

ווידער צוזאמענשטעלן און דורכפאל קאנטראלירן: צוריקשטעלן אלע טרוקענע און ריינע קאמפאנענטן אין די קאמער. פארן אויספאמפן, רייניגט קורץ די קאמער מיט הויך-ריינהייט שטיקשטאף. סטארט די פאמפינג סיסטעם און פירט אויס א גראבן דורכפאל קאנטראל ביים גראבן וואקיום שטאפל צו זיכער מאכן אז עס זענען נישטא קיין דורכפאלן ביי אלע פארזיגלטע פלאכן און פלאנדזש פארבינדונגען.

פאָרשטעלונג וועריפיקאַציע: דורכפירן אַ נאָרמאַל פּאָמפּ-דאַון ציקל, רעקאָרדינג די דרוק קעגן צייט קורווע פון ​​גראָב צו הויך וואַקוום, און פאַרגלייַכן עס מיט פאַר-רייניקונג דאַטן. דער לעצט באַזע דרוק און זיין פעסטקייט זענען די מערסט קריטיש מעטריקס פֿאַר משפט רייניקונג עפעקטיווקייַט. א ליידיק דעפּאָזישאַן לויף (אָן סאַבסטראַטן) קענען זיין דורכגעפירט, נאכגעגאנגען דורך מאָניטאָרינג מיט אַ QCM אָדער ייבערפלאַך אַנאַליסיס ינסטרומענץ פֿאַר קיין אַבנאָרמאַל אַוטגאַסינג אָדער קאַנטאַמאַנאַנט מעלדונג.

מסקנא

טיף רייניקונג פון אַ וואַקוום קאַמער איז אַ סיסטעמאַטישע, פּרעציזיע אינזשעניריע אַרבעט, נישט נאָר אַ רייניקונג אַרבעט. עס ריקווייערז אָפּעראַטאָרן צו האָבן אַ טיף פארשטאנד פון קאַנטאַמאַניישאַן מעקאַניזאַמז, מאַטעריאַל קאַמפּאַטאַבילאַטי, און פּראָצעס ספּעסאַפאַקיישאַנז. דורך גרינדן און שטרענג אַדכירינג צו אַ סטאַנדאַרדייזד טיף רייניקונג פּראָטאָקאָל, דעפעקט ראַטעס אין פּראָדוקציע קענען זיין באַטייטיק רידוסט, דין-פילם פאָרשטעלונג ריפּיטאַביליטי ענכאַנסט, און ויסריכט דינסט לעבן פאַרלענגערט, דערמיט ענשורינג פּראָצעס העכערקייט און פּראָדוקט רילייאַבילאַטי אין אַ קאַמפּעטיטיוו מאַרק.

—דער אַרטיקל איז פאַרעפֿנטלעכט געוואָרן דורך מאַגנעטראָן ספּאַטערינג קאָוטינג עקוויפּמענטtפאַבריקאַנט זשענהואַ וואַקוום