Дар равандҳои пурталаби рӯйпӯшкунии вакуумӣ,тозагии утоқфишори асосӣ, тозагии плёнка, часпидан ва самаранокии ниҳоии маҳсулотро мустақиман муайян мекунад. Тозакунии мунтазами ҳаррӯза барои тоза кардани ифлоскунандаҳои якрав, ки дар тӯли вақт ҷамъ шудаанд, нокифоя аст. Ҳамин тариқ, тозакунии амиқи даврӣ як тартиби ҳатмӣ барои нигоҳ доштани стандартҳои баланди истеҳсолӣ мебошад. Ин мақола ба таври систематикӣ тартиби касбӣ ва мулоҳизаҳои калидӣ барои тозакунии амиқи камераҳои вакуумӣро шарҳ медиҳад.
I. Протоколҳои омодагӣ ва бехатарии пеш аз тозакунӣ
Вентилятсияи система ва ҷудокунии барқ: Боварӣ ҳосил кунед, ки ҳамаи давраҳои раванд ба анҷом расидаанд ва камера ба фишори атмосфера баргардонида шудааст. Барои ҷудо кардани ҳамаи манбаъҳои барқ (шиддати баланд, RF, гармкунакҳо), таъминоти газ ва хатҳои об, ки бехатарии кориро кафолат медиҳад, тартиби пурраи қулфкунӣ-тагout-ро татбиқ кунед.
Хориҷкунӣ ва минтақабандии қисмҳо: Ҳамаи ҷузъҳои дохилии ҷудошавандаро, ба монанди дорандагони субстрат, пардаҳо, қаиқҳои бухоркунӣ, катодҳои камоншакл, монеаҳо ва сарҳои сенсории микромониторҳои кристаллии кварсӣ, ҷудо кунед. Ин камераро ба ду минтақаи асосии тозакунӣ тақсим мекунад: "бадани асосӣ" ва "ҷузъҳо", ки тозакунии пурратарро осон мекунад.
Таҳлили ифлоскунандаҳо: Анҷом додани арзёбии пешакии намудҳои ифлоскунандаҳо, ки одатан инҳоро дар бар мегиранд:
Боқимондаҳои полимерӣ: Пошидани аз манбаъҳои PVD ё бухоркунандаҳо.
Рӯйпӯшҳои ғайриорганикӣ: Плёнкаҳои тунук, ки дар минтақаҳои ғайрисубстратӣ (масалан, деворҳои камера) ҷойгир шудаанд.
Боқимондаҳои равғани насоси вакуумӣ: Ифлосшавии карбогидридҳо аз сабаби ҷараёни баръакс ё вайроншавии насос.
Ифлоскунандаҳои зарраӣ: Чанг, нахҳо ё зарраҳои плёнкаи пора-порашуда.
II. Усулҳои тозакунӣ ва интихоби раванд
Усулҳои мувофиқи тозакунӣ бояд дар асоси ифлоскунандаҳои мушаххас интихоб карда шаванд, ки одатан пайдарпайии тозакунии физикӣ то кимиёвиро риоя мекунанд.
Усулҳои тозакунии ҷисмонӣ
Таркиши хушк / Таркиши муҳрадор: Барои таъсир расонидан ба деворҳои камера ва рӯйпӯшҳои вазнин, муҳити нозук ва аз ҷиҳати кимиёвӣ инертӣ (масалан, алюминий, бикарбонати натрий)-ро дар фишори назоратшаванда истифода мебарад. Гиреҳҳои якрав ва ифлоскунандаҳои ғафсро самаранок тоза мекунад ва сатҳи якхелаи матӣ эҷод мекунад.
Тозакунакҳои бе пашм ва ҳалкунандаҳои баландсифат: Барои минтақаҳои калон бо олудагии умумӣ, аз тозакунакҳои бофтанашуда (масалан, полиэстер ё матоъҳои бе пашм) истифода баред, ки бо ҳалкунандаҳои баландсифат (масалан, спирти изопропил, ацетон ё VOC-ҳои махсус) тар карда шудаанд. Барои пешгирӣ аз олудашавии такрорӣ, онро ба таври яктарафа тоза кунед.
Усулҳои тозакунии кимиёвӣ
Тозакунии ҳалкунанда: Равғанҳои мақсаднок ва баъзе полимерҳоро бо истифода аз ҳалкунандаҳои махсус барои ғӯтондан ё тоза кардан ҳал кардан мумкин аст. Пас аз тозакунӣ, тоза кардани пурраи ҳалкунанда ҳатмист, то он ба манбаи нави ифлосшавӣ табдил наёбад ва ба даст овардани вакуум монеъ нашавад.
Тар кардан ва тоза кардани кимиёвӣ: Қисмҳои ҷудошударо дар тозакунакҳои махсуси рӯйпӯш ё маҳлулҳои туршӣ/ишқорӣ (масалан, кислотаи нитрат, гидроксиди натрий) ғӯтонед, то рӯйпӯшҳо ва оксидҳои ғайриорганикиро ҳал кунед. Консентратсия, ҳарорат ва вақти тар карданро қатъиян назорат кунед, то аз зангзании субстрат пешгирӣ кунед. Пас аз он бо истифода аз оби деионизатсияшуда шустани пурра ва хушккунии зуд анҷом диҳед.
Фаъолсозӣ ва пассиватсия дар сатҳ
Барои камераҳои аз пӯлоди зангногир, пас аз тозакунии амиқ, барои ташкили қабати муҳофизатии зичи оксиди хром, ки муқовимати зангзаниро афзоиш медиҳад ва суръати газшавиро коҳиш медиҳад, коркарди пассиватсияро татбиқ кардан мумкин аст.
III. Коркард ва тасдиқи пас аз тозакунӣ
Тозакунии ултрасадоӣ: Барои ҷузъҳо бо геометрияҳои мураккаб, тозакунии ултрасадо кавитатсияро барои тоза кардани самараноки зарраҳои зермикрон аз микросӯрохиҳо ва тарқишҳо истифода мебарад.
Хушккунӣ: Ҳамаи ҷузъҳои тозашуда бояд бо истифода аз нитрогени хушки бе равған ё ҳаво хушк карда шаванд ва фавран дар танӯр барои пухтан дар ҳарорати мувофиқ (масалан, 80-120°C) гузошта шаванд, то нами адсорбсияшударо пурра тоза кунанд.
Аз нав васлкунӣ ва санҷиши шоридан: Ҳамаи қисмҳои хушк ва тозаро ба камера баргардонед. Пеш аз насос кардан, камераро бо нитрогени тозаи баланд кӯтоҳ тоза кунед. Системаи насосро фаъол созед ва дар марҳилаи вакуумии ноҳамвор санҷиши ноҳамвори шориданро анҷом диҳед, то боварӣ ҳосил кунед, ки дар ҳама сатҳҳои мӯҳркунӣ ва пайвастҳои фланҷӣ шоридан вуҷуд надорад.
Тасдиқи самаранокӣ: Сикли стандартии паст кардани фишорро анҷом диҳед, каҷи фишор ва вақтро аз вакууми ноҳамвор то вакууми баланд сабт кунед ва онро бо маълумоти пеш аз тозакунӣ муқоиса кунед. Фишори ниҳоии асосӣ ва устувории он муҳимтарин нишондиҳандаҳо барои арзёбии самаранокии тозакунӣ мебошанд. Иҷрои холӣ кардани таҳшин (бе субстратҳо) метавонад анҷом дода шавад ва баъдан бо истифода аз QCM ё асбобҳои таҳлили сатҳӣ барои ҳама гуна ихроҷи ғайримуқаррарии газ ё ихроҷи ифлоскунанда назорат карда шавад.
Хулоса
Тозакунии амиқи камераи вакуумӣ як вазифаи муҳандисии систематикӣ ва дақиқ аст, на танҳо як кори тозакунӣ. Он аз операторон талаб мекунад, ки механизмҳои ифлосшавӣ, мутобиқати мавод ва хусусиятҳои равандро амиқан дарк кунанд. Бо муқаррар ва риояи қатъии протоколи стандартии тозакунии амиқи он, сатҳи нуқсонҳо дар истеҳсолот метавонад ба таври назаррас коҳиш ёбад, такроршавии кори плёнкаи тунук беҳтар карда шавад ва мӯҳлати хидматрасонии таҷҳизот дароз карда шавад ва бо ин васила бартарии раванд ва эътимоднокии маҳсулотро дар бозори рақобатпазир таъмин намояд.
— Ин мақола аз ҷониби нашр шудааст таҷҳизоти пӯшонидани пошидани магнетронӣtистеҳсолкунанда чангкашаки Zhenhua
Вақти нашр: 31 октябри соли 2025