Di pêvajoyên pêçandina valahiyê yên dijwar de,paqijiya odeyêrasterast zexta bingehîn, paqijiya fîlmê, zeliqandin û performansa dawîn a hilberê diyar dike. Paqijkirina rojane ya rûtîn ji bo rakirina gemarên serhişk ên ku bi demê re kom bûne têrê nake. Ji ber vê yekê, paqijkirina kûr a periyodîk prosedurek girîng e ji bo parastina standardên hilberînê yên bilind. Ev gotar bi awayekî sîstematîk li ser prosedurên profesyonel û xalên sereke yên ji bo paqijkirina kûr a odeyên valahiyê rave dike.
I. Amadekariya Berî Paqijkirinê û Protokolên Ewlehiyê
Hewakirina Sîstemê û Veqetandina Hêzê: Piştrast bikin ku hemî çerxên pêvajoyê temam bûne û ode vegeriyaye zexta atmosferîk. Ji bo veqetandina hemî çavkaniyên hêzê (voltaja bilind, RF, germker), dabînkirina gazê û xetên avê, prosedurek tevahî ya Lockout-Tagout bicîh bînin, da ku ewlehiya xebitandinê garantî bikin.
Rakirin û Zonkirina Parçeyan: Hemû parçeyên hundirîn ên rakirinî, wekî girgirên substratê, kepenk, qeyikên buharkirinê, katodên kevanê, bafl û serên sensorên mîkromonîtorên krîstala kuartzê ji hev veqetînin. Ev yek odeyê dike du deverên paqijkirina sereke: "laşê sereke" û "parçe", ku paqijkirinek bêtir berfirehtir hêsan dike.
Analîza Gêjmaran: Nirxandinek pêşîn a celebên gejmaran bikin, bi gelemperî di nav de:
Bermayiyên Polîmerîzekirî: Şilbûna ji çavkaniyên PVD an jî buharkeran.
Pêçanên Neorganîk: Fîlmên tenik ên li ser deverên ne-bingeh (mînak, dîwarên odeyê) hatine danîn.
Bermayiyên Rûnê Pompa Valahîyê: Gemarbûna hîdrokarbonê ji ber paşvegerandina herikî an jî têkçûna pompê.
Gemarên Partîkuler: Toz, fîber, an jî perçeyên fîlmê yên perçe perçebûyî.
II. Rêbazên Paqijkirinê û Hilbijartina Pêvajoyê
Divê rêbazên paqijkirinê yên guncaw li gorî gemarên taybetî werin hilbijartin, bi gelemperî li dû rêzek ji paqijkirina fîzîkî ber bi paqijkirina kîmyewî.
Rêbazên Paqijkirina Fizîkî
Çakkirina Hişk / Çakkirina Bi Morîk: Ji bo bandorkirina dîwarên odeyê û pêçanên giran, medyayên zirav û kîmyayî yên bêbandor (mînak, alumina, sodyûm bîkarbonat) di zextek kontrolkirî de bikar tîne. Bi bandor girêkên serhişk û gemarên stûr radike, rûyek mat a yekreng diafirîne.
Paqijkerên Bêlîf û Çareserên Paqijiya Bilind: Ji bo deverên mezin ên bi qirêjiya gelemperî, paqijkerên ne-tevnkirî (mînak, qumaşên polyester an bêlîf) bikar bînin ku bi çareserkerên paqijiya bilind (mînak, Alkola Îzopropîl, Aseton, an VOC-yên taybetî) şil bûne. Ji bo dûrketina ji qirêjbûna dubare, bi awayekî yekalî paqij bikin.
Rêbazên Paqijkirina Kîmyewî
Paqijkirina bi Çareseran: Rûnên hedefgirtî û hin polîmer dikarin bi karanîna çareserkerên taybetî ji bo binavkirin an paqijkirinê werin çareser kirin. Piştî paqijkirinê, rakirina tevahî ya çareserkerê mecbûrî ye da ku pêşî li wê were girtin ku bibe çavkaniyek gemarîbûnê ya nû û rê li ber bidestxistina valahiyê bigire.
Şilkirin û Paqijkirina Kîmyewî: Parçeyên hatine derxistin di makîneyên taybet ên rakirina pêçanê an çareseriyên asîdî/alkalîn (mînak, asîda nîtrîk, hîdroksîda sodyûmê) de bihelînin da ku pêçanên neorganîk û oksîd bihelînin. Ji bo rêgirtina li korozyona substratê, konsantrasyon, germahî û dema ketina pêçanê bi tundî kontrol bikin. Piştre bi ava deîyonîzekirî û zuwakirina bilez bi tevahî bişon.
Çalakkirin û Pasîvkirina Rûyê
Ji bo odeyên pola zengarnegir, piştî paqijkirina kûr dikare dermankirina pasîfîzasyonê were sepandin da ku çînek parastinê ya oksîda kromê ya zirav çêbibe, berxwedana li hember korozyonê zêde bike û rêjeyên gazê kêm bike.
III. Dermankirin û Verastkirina Piştî Paqijkirinê
Paqijkirina Ultrasonîk: Ji bo pêkhateyên bi geometrîyên tevlihev, paqijkirina ultrasonîk kavîtasyonê bikar tîne da ku bi bandor perçeyên sub-mîkron ji mîkropor û qulikan rake.
Hişkkirin: Divê hemû pêkhateyên paqijkirî bi nîtrojen an hewaya hişk a bê rûn werin hişkkirin û tavilê di firinekê de bi germahiyek guncaw (mînak, 80-120°C) werin danîn da ku şilbûna adsorbekirî bi tevahî were rakirin.
Ji Nû Ve Montajkirin û Kontrolkirina Rijandinê: Hemû pêkhateyên hişk û paqij dîsa vegerînin nav odeyê. Berî pompkirinê, odeyê bi nîtrojena paqijiya bilind ji bo demek kurt paqij bikin. Pergala pompkirinê bidin destpêkirin û di qonaxa valahiyek hişk de kontrolkirina rijandinê ya hişk pêk bînin da ku piştrast bibin ku li hemû rûberên mohrkirinê û girêdanên flanşê rijandin çênabe.
Verastkirina Performansê: Çerxeyek standard a pompkirinê pêk bînin, xêza zextê li hember demê ji valahiyek hişk heta valahiyek bilind tomar bikin, û wê bi daneyên pêş-paqijkirinê re bidin ber hev. Zexta bingehîn a dawîn û aramiya wê metrîkên herî krîtîk in ji bo nirxandina bandora paqijkirinê. Pêngava danîna vala (bêyî substratan) dikare were kirin, dûv re bi QCM an amûrên analîza rûberê ji bo her derxistina gazê ya neasayî an berdana qirêjiyê were şopandin.
Xelasî
Paqijkirina kûr a odeyeke valahiyê karekî sîstematîk û endezyariya rast e, ne tenê karekî paqijkirinê ye. Ew ji operatoran dixwaze ku têgihîştineke kûr a mekanîzmayên qirêjbûnê, lihevhatina materyalan û taybetmendiyên pêvajoyê hebe. Bi danîn û pabendbûna bi hişkî ya protokoleke paqijkirina kûr a standardkirî, rêjeyên kêmasiyên di hilberînê de dikarin bi girîngî kêm bibin, dubarekirina performansa fîlma zirav zêde bibe, û temenê karûbarê alavan dirêj bibe, bi vî rengî serdestiya pêvajoyê û pêbaweriya hilberê di sûkek reqabetê de misoger dike.
— Ev gotar ji hêla alavên pêçandina sputterkirina magnetronêthilberîner Zhenhua Vacuum
Dema şandinê: 31ê Cotmeha 2025an