ການເຮັດຄວາມສະອາດຫ້ອງດູດຝຸ່ນຢ່າງເລິກເຊິ່ງ: ຫຼັກການພື້ນຖານຂອງຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ ແລະ ຄຸນນະພາບຂອງຟິມບາງ

ໃນຂະບວນການເຄືອບສູນຍາກາດທີ່ຕ້ອງການຄວາມຕ້ອງການສູງ,ຄວາມສະອາດຫ້ອງກຳນົດໂດຍກົງເຖິງຄວາມດັນພື້ນຖານ, ຄວາມບໍລິສຸດຂອງຟິມ, ການຍຶດຕິດ, ແລະ ປະສິດທິພາບຂອງຜະລິດຕະພັນສຸດທ້າຍ. ການທຳຄວາມສະອາດປະຈຳວັນເປັນປະຈຳບໍ່ພຽງພໍທີ່ຈະກຳຈັດສິ່ງປົນເປື້ອນທີ່ຝັງແໜ້ນທີ່ສະສົມໄວ້ຕາມການເວລາ. ດັ່ງນັ້ນ, ການທຳຄວາມສະອາດຢ່າງເລິກເຊິ່ງເປັນໄລຍະແມ່ນຂັ້ນຕອນທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ສຳລັບການຮັກສາມາດຕະຖານການຜະລິດທີ່ສູງ. ບົດຄວາມນີ້ອະທິບາຍຢ່າງເປັນລະບົບກ່ຽວກັບຂັ້ນຕອນແບບມືອາຊີບ ແລະ ການພິຈາລະນາທີ່ສຳຄັນສຳລັບການທຳຄວາມສະອາດຫ້ອງສູນຍາກາດຢ່າງເລິກເຊິ່ງ.

I. ການກະກຽມກ່ອນການທຳຄວາມສະອາດ ແລະ ມາດຕະການຄວາມປອດໄພ

ການລະບາຍອາກາດຂອງລະບົບ ແລະ ການແຍກພະລັງງານ: ຮັບປະກັນວ່າວົງຈອນຂະບວນການທັງໝົດສຳເລັດແລ້ວ ແລະ ຫ້ອງດັ່ງກ່າວກັບຄືນສູ່ຄວາມກົດດັນຂອງບັນຍາກາດ. ຈັດຕັ້ງປະຕິບັດຂັ້ນຕອນການລັອກອອກ-ແທັກອອກຢ່າງຄົບຖ້ວນເພື່ອແຍກແຫຼ່ງພະລັງງານທັງໝົດ (ແຮງດັນສູງ, RF, ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ), ການສະໜອງອາຍແກັສ, ແລະ ທໍ່ນ້ຳ, ຮັບປະກັນຄວາມປອດໄພໃນການດຳເນີນງານ.

ການຖອດ ແລະ ການແບ່ງສ່ວນ: ຖອດສ່ວນປະກອບພາຍໃນທີ່ສາມາດຖອດອອກໄດ້ທັງໝົດ, ເຊັ່ນ: ຕົວຍຶດຊັ້ນຮອງພື້ນ, ປະຕູປິດ, ເຮືອລະເຫີຍ, ຕົວຈັບອາກ, ແຜງກັ້ນ, ແລະ ຫົວເຊັນເຊີຂອງຈໍພາບຈຸລະພາກຄວດທຽມຄວດ. ສິ່ງນີ້ແບ່ງຫ້ອງອອກເປັນສອງພື້ນທີ່ທຳຄວາມສະອາດຫຼັກຄື: "ຕົວເຄື່ອງຫຼັກ" ແລະ "ອົງປະກອບຕ່າງໆ", ເຊິ່ງຊ່ວຍໃຫ້ທຳຄວາມສະອາດໄດ້ລະອຽດຍິ່ງຂຶ້ນ.

ການວິເຄາະສານປົນເປື້ອນ: ດຳເນີນການປະເມີນເບື້ອງຕົ້ນກ່ຽວກັບປະເພດສານປົນເປື້ອນ, ເຊິ່ງໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວລວມມີ:

ສານຕົກຄ້າງທີ່ເກີດຈາກໂພລີເມີ: ການກະແຈກກະຈາຍຈາກແຫຼ່ງ PVD ຫຼື ສານລະເຫີຍ.

ການເຄືອບອະນົງຄະທາດ: ຟິມບາງໆທີ່ຕົກຄ້າງຢູ່ເທິງພື້ນທີ່ທີ່ບໍ່ແມ່ນຊັ້ນຮອງພື້ນ (ເຊັ່ນ: ຝາຫ້ອງ).

ສິ່ງເສດເຫຼືອຈາກນ້ຳມັນປ້ຳສູນຍາກາດ: ການປົນເປື້ອນຂອງໄຮໂດຣຄາບອນ ເນື່ອງຈາກການໄຫຼຍ້ອນກັບ ຫຼື ຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງປ້ຳ.

ສິ່ງປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກ: ຂີ້ຝຸ່ນ, ເສັ້ນໃຍ, ຫຼື ອະນຸພາກຟິມທີ່ແຕກອອກ.

II. ວິທີການທຳຄວາມສະອາດ ແລະ ການເລືອກຂະບວນການ

ວິທີການທຳຄວາມສະອາດທີ່ເໝາະສົມຕ້ອງໄດ້ເລືອກໂດຍອີງໃສ່ສິ່ງປົນເປື້ອນສະເພາະ, ໂດຍປົກກະຕິແລ້ວຈະປະຕິບັດຕາມລຳດັບຕັ້ງແຕ່ການທຳຄວາມສະອາດທາງກາຍະພາບຈົນເຖິງການທຳຄວາມສະອາດທາງເຄມີ.

ວິທີການທຳຄວາມສະອາດທາງກາຍະພາບ

ການພົ່ນແບບແຫ້ງ / ການພົ່ນແບບລູກປັດ: ໃຊ້ຕົວກາງທີ່ລະອຽດ ແລະ ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາທາງເຄມີ (ເຊັ່ນ: ອະລູມິນາ, ໂຊດຽມໄບຄາບໍເນດ) ດ້ວຍຄວາມກົດດັນທີ່ຄວບຄຸມເພື່ອກະທົບກັບຝາຫ້ອງ ແລະ ການເຄືອບໜັກ. ກຳຈັດຕຸ່ມທີ່ແຂງກະດ້າງ ແລະ ສິ່ງປົນເປື້ອນໜາໆຢ່າງມີປະສິດທິພາບ, ສ້າງພື້ນຜິວດ້ານທີ່ເປັນເອກະພາບ.

ຜ້າເຊັດທີ່ບໍ່ມີຂົນ ແລະ ຕົວລະລາຍທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ: ສຳລັບພື້ນທີ່ຂະໜາດໃຫຍ່ທີ່ມີການປົນເປື້ອນທົ່ວໄປ, ໃຫ້ໃຊ້ຜ້າເຊັດທີ່ບໍ່ແມ່ນທໍ (ເຊັ່ນ: ຜ້າໂພລີເອສເຕີ ຫຼື ຜ້າທີ່ບໍ່ມີຂົນ) ທີ່ຊຸ່ມດ້ວຍຕົວລະລາຍທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ (ເຊັ່ນ: ໄອໂຊໂປຼພິວແອລກໍຮໍ, ອາເຊໂຕນ, ຫຼື VOCs ພິເສດ). ເຊັດໃນລັກສະນະທາງດຽວເພື່ອຫຼີກເວັ້ນການປົນເປື້ອນຊ້ຳອີກ.

ວິທີການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍສານເຄມີ

ການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍຕົວລະລາຍ: ນ້ຳມັນເປົ້າໝາຍ ແລະ ໂພລີເມີບາງຊະນິດສາມາດແກ້ໄຂໄດ້ໂດຍໃຊ້ຕົວລະລາຍສະເພາະສຳລັບການແຊ່ ຫຼື ເຊັດ. ການກຳຈັດຕົວລະລາຍອອກທັງໝົດແມ່ນສິ່ງຈຳເປັນຫຼັງຈາກການເຮັດຄວາມສະອາດເພື່ອປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ມັນກາຍເປັນແຫຼ່ງປົນເປື້ອນໃໝ່ ແລະ ຂັດຂວາງການເຂົ້າເຖິງສູນຍາກາດ.

ການແຊ່ ແລະ ການລອກສານເຄມີ: ຈຸ່ມສ່ວນປະກອບທີ່ຖືກຖອດອອກໃນນໍ້າຢາລອກເຄືອບສະເພາະ ຫຼື ສານລະລາຍທີ່ເປັນກົດ/ດ່າງ (ເຊັ່ນ: ກົດໄນຕຣິກ, ໂຊດຽມໄຮດຣອກໄຊດ໌) ເພື່ອລະລາຍຊັ້ນເຄືອບອະນົງຄະທາດ ແລະ ອົກໄຊດ໌. ຄວບຄຸມຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນ, ອຸນຫະພູມ ແລະ ເວລາການແຊ່ຢ່າງເຂັ້ມງວດເພື່ອຫຼີກເວັ້ນການກັດກ່ອນຂອງຊັ້ນວາງ. ຕາມດ້ວຍການລ້າງອອກໃຫ້ສະອາດໂດຍໃຊ້ນໍ້າທີ່ບໍ່ມີໄອອອນ ແລະ ເຊັດໃຫ້ແຫ້ງໄວ.

ການກະຕຸ້ນພື້ນຜິວ ແລະ ການເຮັດໃຫ້ຜິວໜັງເປັນຮູບຕົວ

ສຳລັບຫ້ອງເຫຼັກສະແຕນເລດ, ການເຄືອບດ້ວຍສານປ້ອງກັນອາດຈະຖືກນຳໃຊ້ຫຼັງຈາກການທຳຄວາມສະອາດຢ່າງເລິກເຊິ່ງເພື່ອສ້າງຊັ້ນປ້ອງກັນໂຄຣມອອກໄຊທີ່ໜາແໜ້ນ, ເຊິ່ງຊ່ວຍເພີ່ມຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນອັດຕາການປ່ອຍອາຍພິດອອກ.

III. ການປະຕິບັດຫຼັງການທຳຄວາມສະອາດ ແລະ ການຢັ້ງຢືນ

ການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍຄື້ນສຽງ Ultrasonic: ສຳລັບອົງປະກອບທີ່ມີຮູບຮ່າງທີ່ສັບສົນ, ການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍຄື້ນສຽງ Ultrasonic ໃຊ້ cavitation ເພື່ອກຳຈັດອະນຸພາກຂະໜາດ sub-micron ອອກຈາກ micropores ແລະ ຮອຍແຕກຢ່າງມີປະສິດທິພາບ.

ການອົບແຫ້ງ: ສ່ວນປະກອບທັງໝົດທີ່ເຮັດຄວາມສະອາດແລ້ວຕ້ອງໄດ້ອົບແຫ້ງໂດຍໃຊ້ໄນໂຕຣເຈນ ຫຼື ອາກາດທີ່ບໍ່ມີນ້ຳມັນ ແລະ ເອົາໄປອົບໃນເຕົາອົບທັນທີທີ່ອຸນຫະພູມເໝາະສົມ (ເຊັ່ນ: 80-120°C) ເພື່ອເອົາຄວາມຊຸ່ມຊື່ນທີ່ດູດຊຶມອອກຢ່າງລະອຽດ.

ປະກອບຄືນໃໝ່ ແລະ ກວດສອບການຮົ່ວໄຫຼ: ຕິດຕັ້ງສ່ວນປະກອບທີ່ແຫ້ງ ແລະ ສະອາດທັງໝົດກັບຄືນໃສ່ໃນຫ້ອງ. ກ່ອນທີ່ຈະສູບລົງ, ໃຫ້ລ້າງຫ້ອງດ້ວຍໄນໂຕຣເຈນທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ. ເລີ່ມລະບົບສູບ ແລະ ກວດສອບການຮົ່ວໄຫຼແບບຫຍາບໆໃນຂັ້ນຕອນສູນຍາກາດແບບຫຍາບເພື່ອຮັບປະກັນວ່າບໍ່ມີການຮົ່ວໄຫຼຢູ່ທຸກພື້ນຜິວປະທັບຕາ ແລະ ຈຸດເຊື່ອມຕໍ່ຂອງແປນ.

ການຢັ້ງຢືນປະສິດທິພາບ: ດຳເນີນວົງຈອນການສູບລົງມາດຕະຖານ, ບັນທຶກເສັ້ນໂຄ້ງຄວາມດັນທຽບກັບເສັ້ນໂຄ້ງເວລາຈາກສູນຍາກາດຫຍາບຫາສູງ, ແລະປຽບທຽບກັບຂໍ້ມູນກ່ອນການທຳຄວາມສະອາດ. ຄວາມດັນພື້ນຖານສຸດທ້າຍ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງມັນແມ່ນຕົວຊີ້ວັດທີ່ສຳຄັນທີ່ສຸດສຳລັບການຕັດສິນປະສິດທິພາບຂອງການທຳຄວາມສະອາດ. ການແລ່ນກອງຂີ້ຝຸ່ນເປົ່າ (ໂດຍບໍ່ມີວັດສະດຸຮອງພື້ນ) ສາມາດປະຕິບັດໄດ້, ຕາມດ້ວຍການຕິດຕາມກວດກາດ້ວຍ QCM ຫຼື ເຄື່ອງມືວິເຄາະພື້ນຜິວ ສຳລັບການລະບາຍອາຍພິດທີ່ຜິດປົກກະຕິ ຫຼື ການປ່ອຍສານປົນເປື້ອນ.

ສະຫຼຸບ

ການເຮັດຄວາມສະອາດຫ້ອງສູນຍາກາດຢ່າງເລິກເຊິ່ງແມ່ນວຽກງານວິສະວະກຳທີ່ເປັນລະບົບ ແລະ ແມ່ນຍຳ, ບໍ່ພຽງແຕ່ເປັນວຽກເຮັດຄວາມສະອາດເທົ່ານັ້ນ. ມັນຮຽກຮ້ອງໃຫ້ຜູ້ປະຕິບັດງານມີຄວາມເຂົ້າໃຈຢ່າງເລິກເຊິ່ງກ່ຽວກັບກົນໄກການປົນເປື້ອນ, ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງວັດສະດຸ, ແລະ ຂໍ້ກຳນົດຂອງຂະບວນການ. ໂດຍການສ້າງຕັ້ງ ແລະ ປະຕິບັດຕາມໂປໂຕຄອນການເຮັດຄວາມສະອາດຢ່າງເລິກເຊິ່ງທີ່ໄດ້ມາດຕະຖານ, ອັດຕາຂໍ້ບົກພ່ອງໃນການຜະລິດສາມາດຫຼຸດລົງໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ, ປະສິດທິພາບການຊ້ຳຄືນຂອງຟິມບາງເພີ່ມຂຶ້ນ, ແລະ ອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງອຸປະກອນໄດ້ຍາວນານຂຶ້ນ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງຮັບປະກັນຄວາມເໜືອກວ່າຂອງຂະບວນການ ແລະ ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືຂອງຜະລິດຕະພັນໃນຕະຫຼາດທີ່ມີການແຂ່ງຂັນ.

— ບົດຄວາມນີ້ຖືກເຜີຍແຜ່ໂດຍ ອຸປະກອນເຄືອບ magnetron sputteringtຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ Zhenhua